[发明专利]形成EUVL防尘薄膜的方法

权利要求书

1.一种形成EUVL防尘薄膜的方法，所述方法包括：

对碳纳米管CNT膜片进行涂覆；以及

将CNT膜片安装到防尘薄膜框架上，

其中，对CNT膜片进行涂覆包括：

用种子材料对膜片的CNT进行预涂覆；以及

在预涂覆的CNT上形成外涂层，外涂层覆盖了预涂覆的CNT，外涂层的形成包括：通过原子层沉积使得涂料材料沉积在预涂覆的CNT上。

2.如权利要求1所述的方法，其中，使种子材料沉积以形成平均厚度范围为0.5nm至4nm、优选0.5nm至3nm、更优选1nm至2nm的种子层。

3.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，种子材料以0.7埃/秒或更低的速率沉积。

4.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，使涂料材料沉积以形成平均厚度范围为0.5nm至4nm、优选1nm至2nm的外涂层。

5.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，种子材料选自下组：C、Zr、ZrN、Hf、HfN、B、B₄C、BN、Y、YN、La、LaN、SiC、SiN、Ti、TiN、W、Be、Au、Ru、Al、Mo、MoN、Sr、Nb、Sc、Ca、Ni、Ni-P、Ni-B、Cu、Ag。

6.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，涂料材料是Zr、Al、B、C、Hf、La、Nb、Mo、Ru、Si、Ti或Y，或者它们的碳化物、氮化物或氧化物。

7.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，种子材料和涂料材料选自下组：Zr种子材料和ZrO₂涂料材料；B种子材料和ZrO₂涂料材料、HfO₂涂料材料或Al₂O₃涂料材料；B₄C种子材料和ZrO₂涂料材料、HfO₂涂料材料或Al₂O₃涂料材料；Zr种子材料和Al₂O₃涂料材料或ZrAlOx涂料材料；钼种子材料和ZrO₂涂料材料。

8.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，用种子材料对CNT进行预涂覆包括：通过物理气相沉积使种子材料沉积。

9.如权利要求8所述的方法，其中，种子材料通过热蒸发、电子束蒸发或远程等离子体溅射来进行沉积。

10.如权利要求8-9中任一项所述的方法，其中，用种子材料对CNT进行预涂覆包括：从膜片的第一侧沉积种子材料，然后从膜片的第二相对侧沉积种子材料。

11.如权利要求10所述的方法，其中，在沉积工具中进行预涂覆，所述沉积工具包括对膜片进行支撑的基材支架，并且其中，在基材支架连续旋转期间进行种子材料的沉积。

12.如权利要求1-7中任一项所述的方法，其中，用种子材料对CNT进行预涂覆包括：通过电化学沉积或电镀使种子材料沉积。

13.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，通过热原子层沉积使涂料材料进行沉积。

14.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，在安装到防尘薄膜框架之前对CNT膜片进行涂覆。