[发明专利]一种钒钨合金靶坯的制备方法有效
| 申请号： | 202011525482.4 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112760538B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李苛 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C22C27/02 | 分类号： | C22C27/02;C22C1/04;B22F3/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制备 方法 | ||
1.一种钒钨合金靶坯的制备方法，其特征在于，所述钒钨靶坯中以质量百分含量计包括：11-19%W，余量为钒；
所述制备方法包括如下步骤：
（1）将钒粉和钨粉按配方进行混合，之后装入模具中；
（2）放入炉中并抽真空，之后进行热压烧结，得到所述钒钨合金靶坯；所述热压烧结包括以10-15℃/min升温至恒温并保温，之后再以5-8℃/min进行升温并保温保压；所述恒温的温度为1000-1050℃；所述保温保压中的温度为1260-1300℃。
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述混合的方式为干混。
3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述混合中氧化锆球和粉料的质量比为(1-2):10。
4.如权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述混合的时间为24-26h。
5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述钒粉的粒度＜75μm。
6.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述钨粉的粒度为2-3μm。
7.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（2）所述的抽真空的终点抽真空至绝对真空度≤40Pa。
8.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述升温至恒温后保温的时间为1-1.2h。
9.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述保温保压中在120-130min内加压至35-40MPa。
10.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述保温保压的时间为1.5-2h。
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