[发明专利]聚合物基多元表面增强拉曼检测基底及其制备方法有效
| 申请号： | 202011526385.7 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112683879B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 杜鲁涛;张成鹏;陈帅;王心凝;李娟;杨少华;季金;王传新 | 申请（专利权）人： | 山东大学;齐鲁工业大学;山东大学日照智能制造研究院;山东大学苏州研究院 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;C23C14/02;C23C14/24;C23C14/20;C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张晓鹏 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 聚合物 基多 表面 增强 检测 基底 及其 制备 方法 | ||
1.一种聚合物基多元表面增强拉曼检测基底，其特征在于：其依次包括相互叠加设置的聚合物基材、树脂层、贵金属薄膜层、金属氧化物薄膜层和三维岛状超薄银膜；
三维岛状超薄银膜中的岛状结构为分布均匀的纳米结构，银膜的厚度为1.5-20nm，岛状纳米结构为圆锥型结构；
三维岛状超薄银膜中的岛状纳米结构呈矩形阵列分布在聚合物基材表面；
岛状纳米结构之间的间距为20-1000nm；
所述三维岛状超薄银膜是在金属氧化物薄膜表面离子溅射沉积而成；
所述聚合物基材的材料为PET材料；
金属氧化物薄膜层的厚度为10-100nm，材质为氧化锌或二氧化钛；
贵金属薄膜层的厚度为10-100nm，贵金属薄膜层的材质为金或银；树脂层的厚度为900-1200nm。
2.权利要求1所述聚合物基多元表面增强拉曼检测基底的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：
在聚合物基材上滴加树脂，形成树脂层，将模具辊上的图案转移到树脂上，并光照固化；
在树脂层的图案结构上蒸镀一层贵金属薄膜，使其金属化；
在贵金属薄膜上面蒸镀金属氧化物薄膜；
最后在金属氧化物薄膜表面离子溅射沉积三维岛状超薄银膜，即可得到聚合物基多元复合表面增强拉曼散射基底。
3.根据权利要求2所述的聚合物基多元表面增强拉曼检测基底的制备方法，其特征在于：将模具辊上的图案转移到树脂上的方法为卷对卷紫外压印。
4.根据权利要求3所述的聚合物基多元表面增强拉曼检测基底的制备方法，其特征在于：压印的速度为0.1-3m/min，压印压力为10-50kgf，压辊温度为10-200℃。
5.根据权利要求2所述的聚合物基多元表面增强拉曼检测基底的制备方法，其特征在于：蒸镀金属氧化物薄膜的功率为15-50W，工作气压为0.5-1Pa。
6.根据权利要求2所述的聚合物基多元表面增强拉曼检测基底的制备方法，其特征在于：离子溅射沉积三维岛状超薄银膜的工作气压为0.02Pa，离子束流为60-200mA。
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