[发明专利]反应管固定模组与反应炉

说明书

本发明公开了一种反应管固定模组与反应炉，反应管固定模组包括反应管、套接件与至少两个柔性支撑件：套接件用于与外部构件连接，套接件套接在反应管的外侧，且与反应管之间具有间隙；柔性支撑件套接在反应管的外侧，位于间隙内且分别与反应管以及套接件接触，各柔性支撑件沿反应管的轴向分布。本发明实施例的反应管固定模组中，套接件通过至少两个沿反应管的轴向分布的柔性支撑件支撑反应管，可以避免反应管与硬质的套接件直接接触而发生破裂，至少两个柔性支撑件能够提供多个支撑位置，从而均衡反应管的受力，减少反应管支撑位置的压强，实现反应管的稳定放置。

技术领域

本发明涉及晶圆制造领域，尤其是涉及反应管固定模组与反应炉。

背景技术

随着国内半导体行业的迅速发展，半导体相关设备需求也越来越大，晶圆的处理通过在反应管中的进行，在某些场合需要对反应管的一端进行固定，另一端保持悬空，相关技术中通常采用法兰盘实现端部固定，由于反应管的固定端需要承受较大的作用力，且反应管由易碎的材质(例如石英)制成，因此与法兰盘接触后容易碎裂。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种反应管固定模组，能够避免反应管碎裂。

本发明还公开了应用上述反应管固定模组的反应炉。

根据本发明第一实施例的反应管固定模组，包括：

反应管；

套接件，用于与外部构件连接，所述套接件套接在所述反应管的外侧，且与所述反应管之间具有间隙；

至少两个柔性支撑件，所述柔性支撑件套接在所述反应管的外侧，位于所述间隙内且分别与所述反应管以及所述套接件接触，各所述柔性支撑件沿所述反应管的轴向分布。

根据本发明实施例的反应管固定模组，至少具有如下有益效果：

套接件通过至少两个沿反应管的轴向分布的柔性支撑件支撑反应管，可以避免反应管与硬质的套接件直接接触而发生破裂，至少两个柔性支撑件能够提供多个支撑位置，从而均衡反应管的受力，减少反应管支撑位置的压强，实现反应管的稳定放置。

根据本发明的一些实施例，所述套接件具有第一环形槽，所述第一环形槽内具有所述柔性支撑件；

所述反应管固定模组还包括第一连接件，所述第一连接件套接在所述反应管的外侧，且与所述套接件连接，以将所述柔性支撑件限制在对应的所述第一环形槽内。

根据本发明的一些实施例，所述第一连接件能够挤压对应的所述柔性支撑件，以使所述柔性支撑件沿所述反应管的径向伸展。

根据本发明的一些实施例，所述第一连接件具有伸入所述第一环形槽内的挤压部，沿所述挤压部的伸入方向，所述第一环形槽的槽壁与所述反应管之间的距离逐渐缩小。

根据本发明的一些实施例，所述反应管固定模组还包括柔性填充件，所述柔性填充件填充于所述间隙内，且与所述反应管接触。

根据本发明的一些实施例，所述柔性填充件为导热硅胶。

根据本发明的一些实施例，所述反应管固定模组还包括高度调节件，所述高度调节件与所述套接件连接，支撑于所述反应管的下方，能够沿竖直方向运动。

根据本发明的一些实施例，所述高度调节件包括安装部与调节部，所述安装部与所述套接件连接，所述调节部与所述安装部连接，具有与所述反应管接触的内凹弧面，所述调节部的硬度小于所述安装部的硬度。

根据本发明的一些实施例，所述套接件具有第一散热腔，以及与所述第一散热腔连通的第一入口与第一出口，所述第一入口用于通入散热介质，以对各所述柔性支撑件进行散热。