[发明专利]应用于真空腔室中的电连接件、静电卡盘和半导体设备

权利要求书

1.一种应用于真空腔室中的电连接件，所述真空腔室中设有相对的第一接线柱和第二接线柱，所述电连接件设置于所述第一接线柱和所述第二接线柱之间，其特征在于，所述电连接件包括：

第一导电部，与所述第一接线柱相对设置，能够接触或远离所述第一接线柱；

第二导电部，与所述第二接线柱接触连接；

位于所述第一导电部和所述第二导电部之间的可伸缩导电结构，所述可伸缩导电结构、所述第一导电部和所述第二导电部形成密封空腔；

所述可伸缩导电结构，用于在大气环境下处于压缩状态，且所述第一导电部远离所述第一接线柱；在真空环境下能够伸长，且所述第一导电部与所述第一接线柱接触。

2.根据权利要求1所述的应用于真空腔室中的电连接件，其特征在于，所述可伸缩导电结构包括导电波纹管。

3.根据权利要求1或2任一项所述的应用于真空腔室中的电连接件，其特征在于，所述可伸缩导电结构为单层结构；或，所述可伸缩导电结构的外表面镀有金属涂层，所述金属涂层的电阻率小于所述可伸缩导电结构的电阻率。

4.根据权利要求3所述的应用于真空腔室中的电连接件，其特征在于，所述金属涂层的外表面镀有抗氧化层。

5.根据权利要求1所述应用于真空腔室中的电连接件，其特征在于，所述电连接件内部还设有：

伸缩导向机构，所述伸缩导向机构包括相对设置的导向杆和导向筒，其中所述导向杆固定在所述第一导电部和所述第二导电部其中之一，另一用于固定所述导向筒，所述导向杆靠近所述导向筒的一端伸入所述导向筒内，能够沿所述导向筒轴向移动。

6.根据权利要求5所述应用于真空腔室中的电连接件，其特征在于，所述导向杆伸入所述导向筒的端部设有限位挡片，所述导向筒靠近所述导向杆的一端设有与所述限位挡片配合的限位挡边。

7.一种静电卡盘，设置于真空腔室中，其特征在于，所述静电卡盘包括金属基座、设置于所述金属基座上的陶瓷体，所述金属基座内设有纵向设置的容置空腔，所述容置空腔中设有如权利要求1-6任一项所述的电连接件，其中所述容置空腔的上端为用于为所述陶瓷体供电的所述第一接线柱，所述容置空腔的下端为引入外部电信号的所述第二接线柱。

8.根据权利要求7所述的静电卡盘，其特征在于，所述静电卡盘还包括环绕所述电连接件设置的导向件，所述电连接件伸长时，所述电连接件的外壁面与所述导向件的内壁滑动贴合。

9.根据权利要求8所述的静电卡盘，其特征在于，所述导向件为绝缘套管，所述电连接件设置于所述绝缘套管内，且所述第一接线柱、所述第二接线柱分别嵌入于所述绝缘套管的上下两端，所述第一导电部的外周与所述绝缘套管的内壁滑动贴合。

10.一种半导体设备，其特征在于，包括真空腔室，所述真空腔室内设有如权利要求7-9任意一项所述的静电卡盘。