[发明专利]一种铝钪合金靶材的成型方法在审
| 申请号： | 202011529707.3 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112695283A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;周友平;冯新印 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B21J5/02;C22C21/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 成型 方法 | ||
1.一种铝钪合金靶材的成型方法，其特征在于，所述成型方法包括：将铝钪合金靶坯和锻模进行加热，之后将加热后的铝钪合金靶坯放入到喷涂有助剂的锻模进行锻压，得到铝钪合金靶材。
2.如权利要求1所述的成型方法，其特征在于，所述铝钪合金靶坯中以质量百分含量计包括钪5-50％，余量为铝。
3.如权利要求1或2所述的成型方法，其特征在于，所述锻模的材质包括45#钢或40Cr钢。
4.如权利要求1-3任一项所述的成型方法，其特征在于，所述加热的温度为450-1000℃。
5.如权利要求1-4任一项所述的成型方法，其特征在于，所述加热的时间为1-2h。
6.如权利要求1-5任一项所述的成型方法，其特征在于，所述助剂包括氮化硼离型剂。
7.如权利要求1-6任一项所述的成型方法，其特征在于，所述助剂的喷涂终点为将锻模腔体的内表面完全覆盖。
8.如权利要求1-7任一项所述的成型方法，其特征在于，所述锻压中的压力为120-200MPa。
9.如权利要求1-8任一项所述的成型方法，其特征在于，所述锻压的终点为铝钪合金填满锻模型腔。
10.如权利要求1-9任一项所述的成型方法，其特征在于，所述成型方法包括：将铝钪合金靶坯和锻模进行加热，之后将加热后的铝钪合金靶坯放入到喷涂有离型剂的锻模进行锻压，得到铝钪合金靶材；
所述加热的温度为450-1000℃；所述加热的时间为1-2h。
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