[发明专利]柔性太阳能电池及电池制造方法有效
申请号: | 202011530685.2 | 申请日: | 2020-12-22 |
公开(公告)号: | CN112531042B | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | 杨文奕;杜伟;何键华;黄嘉敬;胡丹 | 申请(专利权)人: | 中山德华芯片技术有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/05;H01L31/18 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 何锦明 |
地址: | 528437 广东省中山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 太阳能电池 电池 制造 方法 | ||
1.一种电池制造方法,用于制造柔性太阳能电池,该柔性太阳能 电池包括电池材料层(200)、导电层(300)和连接层,其中,
所述电池材料层(200)上设置有第一电极(100);
导电层(300)设置在所述电池材料层(200)上,所述导电层(300)与所述电池材料层(200)电连接并能够导电,所述导电层(300)和所述第一电极(100)分别位于所述电池材料层(200)的两侧;
连接层设置在所述导电层(300)上,所述连接层包括第二电极(400)、互联区(500)和绝缘区(600),所述互联区(500)能够通过外部的导电胶与另一电池的第一电极(100)进行叠瓦互联,所述绝缘区(600)内沉积有绝缘材料,所述绝缘区(600)分隔所述互联区(500)和所述第二电极(400);
其特征在于,包括以下步骤:
A.选取基础衬底并在基础衬底上制作出所述电池材料层(200);
在电池材料层(200)的背面设置导电层(300);
C.在导电层(300)上进行图形化电镀,从而形成连接层,并在所述连接层上空出绝缘区(600);
D.在所述绝缘区(600)内沉积绝缘材料;
E.将基础衬底和电池材料层(200)分离,从而获得电池薄膜(800);
F.将电池薄膜(800)与刚性衬底进行临时键合;
G.在所述电池薄膜(800)的电池材料层(200)上制作第一电极(100);
H.通过对薄膜材料进行光刻及湿法腐蚀,从而制作出各个电池单体。
2.如权利要求1所述的电池制造方法,其特征在于:
所述第一电极(100)上设置有叠瓦连接区,所述互联区(500)的宽度小于所述叠瓦连接区的宽度。
3.如权利要求1所述的电池制造方法,其特征在于:
所述第二电极(400)和所述互联区(500)均由导电金属材料制成。
4.如权利要求3所述的电池制造方法,其特征在于:
所述第二电极(400)和所述互联区(500)由相同的材料制成。
5.如权利要求1所述的电池制造方法,其特征在于:
步骤A中,在基础衬底上依次外延生长出牺牲层和电池材料层(200);步骤E中,通过腐蚀牺牲层,从而使得基础衬底和电池材料层(200)分离。
6.如权利要求5所述的电池制造方法,其特征在于:
步骤E中,选择性地腐蚀牺牲层的部分。
7.如权利要求1所述的电池制造方法,其特征在于:
步骤G中,通过在所述刚性衬底上的电池材料层(200)进行蒸镀制作第一电极(100)。
8.如权利要求1所述的电池制造方法,其特征在于:
还包括步骤I,将光刻及湿法腐蚀后的薄膜材料进行切割,从而使得各个独立的电池单体相互分离。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的