[发明专利]一种超高真空铜法兰密封型组件

权利要求书

1.一种超高真空铜法兰密封型组件，该组件用于超高真空系统，其特征在于：该组件包含螺栓连接结构法兰组件(1)以及快卸型连接结构法兰组件(2)两种；螺栓连接结构法兰组件(1)包括一对螺栓连接法兰(3)、一个弹簧增强金属C形环(8)以及数个螺栓紧固件(6)；快卸型连接结构法兰组件(2)包括一对快卸法兰(9)、一个弹簧增强金属C形环(8)、一条压环链条(10)；

每个螺栓连接法兰(3)的中心均有承插孔(5)，用于和真空管道焊接；

一对螺栓连接法兰(3)的端面贴合，且两个贴合的端面上均设有平面槽密封结构(7)和四个截面为半圆的排气槽(4)，两个平面槽密封密封结构(7)之间安装有弹簧增强金属C形环(8)；

一对螺栓连接法兰(3)通过螺栓紧固件(6)连接固定在一起；

每个快卸法兰(9)有一圈锥形斜面(18)和压环链条(10)配合；

一对快卸法兰(9)的端面贴合，且两个贴合的端面上均设有平面槽密封结构(7)和四个截面为半圆的排气槽(4)，两个平面槽密封结构(7)之间安装有弹簧增强金属C形环(8)；

压环链条(10)包括若干连接压环(12)、连接条(11)、销轴(13)、一个螺杆(17)、一个螺母(14)、一个垫块(16)以及一个小垫圈(15)，连接压环(12)和连接条(11)通过销轴(13)铰接，螺杆(17)和连接压环(12)通过销轴(13)铰接，垫块(16)和小垫圈(15)均有孔可套在螺杆(17)上。

2.根据权利要求1所述的超高真空铜法兰密封型组件，其特征在于：所述螺栓连接法兰(3)和快卸法兰(9)所用材料为铬锆铜，牌号为C18150。

3.根据权利要求1所述的超高真空铜法兰密封型组件，其特征在于：螺栓连接法兰(3)和快卸法兰(9)所用的铬锆铜材料需要冷作硬化预处理工序提高材料的硬度不小于150HV。

4.根据权利要求1所述的超高真空铜法兰密封型组件，其特征在于：螺栓连接法兰(3)与螺栓接触的平面以及快卸法兰(9)和压环链条(10)接触的锥形斜面(18)可选择镀铬或硬质合金提高硬度，保证密封时避免力矩过大破坏法兰面影响受力平衡。

5.根据权利要求1所述的超高真空铜法兰密封型组件，其特征在于：每个连接压环(12)和快卸法兰(9)锥形斜面(18)接触部分的压环边角(19)都需要倒圆角，圆角半径不小于1mm。

6.根据权利要求1所述的超高真空铜法兰密封型组件，其特征在于：所述弹簧增强金属C形环(8)的厚度取值根据平面槽密封结构(7)的槽深和实际需求确定，一般簧增强金属C形环(8)的厚度大于平面槽密封结构(7)的槽深以保证留有足够的压缩量实现密封；所述弹簧增强金属C形环(8)小圈的内径取值根据平面槽密封结构(7)内圈的直径大小确定，一般取值为大于平面槽密封结构(7)内圈直径0.5mm；所述弹簧增强金属C形环(8)的表面采用镀银或镀锡，提高密封性能。

7.根据权利要求1所述的超高真空铜法兰密封型组件，其特征在于：所述快卸法兰(9)的平面槽密封结构(7)的表面加工需采用磨削精加工。

8.根据权利要求1所述的超高真空铜法兰密封型组件，其特征在于：所述快卸法兰(9)的平面槽密封结构(7)的表面在进行打磨粗糙度工序时，需沿圆周方向打磨，不可出现径向的、贯穿性划痕，表面粗糙度值根据弹簧增强金属C形环(8)的大小和表面镀层综合确定。