[发明专利]显影装置及其应用方法、显示面板

说明书

本发明公开了一种显影装置及其应用方法、显示面板，所述显影装置包括显影腔室、补水机构、传感器以及控制器，本发明的技术效果在于，增加补水机构与传感器，传感器感知当前环境的湿度值，反馈给控制器后，控制器控制电子开关进行开闭，来调节显影腔室的湿度，保证在显影过程中，环境的湿度值处于标准湿度范围内，不会对显影造成影响，改善显影的成功率，保障采用所述显影装置制备所得的显示面板的品质。

技术领域

本发明涉及显示面板装置领域，特别涉及一种显影装置及其应用方法、显示面板。

背景技术

显影(developing)是半导体集成电路光刻过程中的一项基本工艺，就是使用弱碱性溶液将圆片上曝光后不需要的光刻胶去除，只在圆片上留下需要的条、孔等电路图形。显影后形成的线宽分辨率、图形线宽均匀性、颗粒和缺陷、显影成本和时间等是评价显影工艺的重要要素。

在显影过程中，当前环境下的湿度值过低或过高时，则会导致在显影过程中，出现显影气泡(TPDEB)或是显影液回溅异常(TPDS0)的问题，如果拦检不及时则会导致线宽变异，引起显影产品特性不良，造成产品批量降级的状况。同时，处理显影腔室时需要长时间停机，且一次处理成功率也不高，需要多次处理，则会造成设备浪费。

发明内容

本发明的目的在于，解决现有的显影装置在显影过程中环境湿度不稳定，造成所制得的显示面板良率不高的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供一种显影装置，包括：显影腔室；补水机构，具有至少一补水管以及设于所述补水管上的电子开关，所述补水管连通至所述显影腔室内；传感器，安装至所述显影腔室的底部，所述传感器用以获取所述显影腔室的湿度；以及控制器，所述传感器和所述补水机构的电子开关分别连接至所述控制器，当所述控制器从所述传感器获取所得的所述显影腔室的湿度低于第一预设值时，所述控制器控制所述电子开关打开，通过补水管向所述显影腔室补水；当所述控制器从所述传感器获取所得的所述显影腔室的湿度高于第二预设值时，所述控制器控制所述电子开关关闭，停止向所述显影腔室补水。

进一步地，所述传感器高出所述显影腔室的底部3～8毫米。

进一步地，所述传感器具有指示灯，当所述指示灯发出蓝色光线时，所述控制器控制所述电子开关打开，通过所述补水管向所述显影腔室补水；当所述指示灯发出红色光线时，所述控制器控制所述电子开关关闭，停止向所述显影腔室补水。

进一步地，所述显影腔室具有一入口，所述补水管的出水口设于所述显影腔室的入口的底部。

进一步地，所述第一预设值为所述显影腔室初始湿度的95％。

进一步地，所述第二预设值为所述显影腔室初始湿度的105％。

为实现上述目的，本发明还提供一种显影装置的应用方法，包括以下步骤：将一基板传入至如前文所述的显影装置的显影腔室内；通过传感器检测所述显影腔室的湿度；通过控制器控制补水机构中的电子开关，当所述控制器从所述传感器获取所得的所述显影腔室的湿度低于第一预设值时，所述控制器控制所述电子开关打开，通过补水管向所述显影腔室补水；当所述控制器从所述传感器获取所得的所述显影腔室的湿度高于第二预设值时，所述控制器控制所述电子开关关闭，停止向所述显影腔室补水；以及对所述基板进行显影处理。

进一步地，通过传感器检测所述显影腔室的湿度包括以下步骤：当所述传感器上的指示灯发出蓝色光线时，所述控制器控制所述电子开关打开，通过所述补水管向所述显影腔室补水；当所述传感器上的指示灯发出红色光线时，所述控制器控制所述电子开关关闭，停止向所述显影腔室补水。

进一步地，所述第一预设值为所述显影腔室初始湿度的95％；所述第二预设值为所述显影腔室初始湿度的105％。

为实现上述目的，本发明还提供一种显示面板，其由如前文所述的显影装置的应用方法制备而成。