[发明专利]一种绑定设备及其控制方法

说明书

本发明公开一种绑定设备及其控制方法，涉及微电子加工设备领域，旨在解决绑定设备在高频运动过程中引起的内部振动影响绑定精度的问题。该绑定设备包括：第一直线导轨，设置于基座上；主运动平台，设置于第一直线导轨上；第一驱动装置，用于驱动主运动平台运动；第二直线导轨，设置于主运动平台上，且与第一直线导轨同向设置；工作末端，设置于第二直线导轨上，工作末端的整体质量小于主运动平台的整体质量；第二驱动装置，用于驱动工作末端运动；控制装置，分别与第一驱动装置和第二驱动装置连接，用于控制主运动平台在第一直线导轨上运动，并控制工作末端在第二直线导轨上做往复运动。本发明用于微电子装备的加工。

技术领域

本发明涉及微电子加工设备领域，尤其涉及一种绑定设备及其控制方法。

背景技术

绑定设备是半导体领域的一种常用设备。用于把来料中密集的半导体器件绑定到众多的分散的目标位置上。其中绑定精度及绑定频率(单位时间内绑定的器件数量)是两个最关键指标。

随着行业的高速发展，在保证绑定精度的同时，对绑定频率提出了更高要求。在绑定过程中，绑定设备需要执行“平移到目标位置-绑定-平移到下一目标位置-绑定”的运动过程。其中，频繁的从一个绑定目标位置运动至下一目标位置的过程中，呈现出周期运动的形态，而缩短该过程的时间是提高绑定频率的关键。

其中，绑定设备由一个目标位置运动到另一个目标位置的过程中，工作部件前期加速，后期减速，最后运动到另一个目标位置，在此过程中，前期工作部件需要一个方向的力加速、后期需要一个反向的力减速。在工作部件加速或者减速的同时，均会对设备基座产生反作用力；一方面，运动部件受力剧烈变化会导致工作部组的振动，另一方面，随着步进运动频率的提高，需要迅速增加对应方向上的加速度，进而导致反作用力迅速增加，进一步增加了绑定设备的振动幅度。

但是，为了保证绑定设备设计的绑定精度，需要进一步限定绑定设备的振动幅度。因此，在精密的高频运动中，内部振动是制约绑定设备的运动性能(即绑定频率)提升的主要原因。

发明内容

本发明的实施例提供的一种绑定设备及其控制方法，旨在解决绑定设备在高频运动过程中引起的内部振动影响绑定精度的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一方面，本发明提供了一种绑定设备，包括：第一直线导轨，设置于基座上；主运动平台，设置于第一直线导轨上；第一驱动装置，用于驱动主运动平台在第一直线导轨上运动；第二直线导轨，设置于主运动平台上，且与第一直线导轨同向设置；工作末端，设置于第二直线导轨上，工作末端的整体质量小于主运动平台的整体质量；第二驱动装置，用于驱动工作末端在第二直线导轨上运动；控制装置，分别与第一驱动装置和第二驱动装置连接，用于控制主运动平台在第一直线导轨上运动；并控制工作末端在第二直线导轨上做往复运动。

可选地，绑定设备还包括：往复运动端，往复运动端设置于第二直线导轨上；第三驱动装置，第三驱动装置用于驱动往复运动端在第二直线导轨上运动；且控制装置与第三驱动装置连接，用于控制往复运动端在第二直线导轨做往复运动，往复运动端和工作末端的加速度的方向始终相反。

可选地，第二驱动装置和第三驱动装置均为直线电机，第二驱动装置和第三驱动装置的电机定子为同一个且设置于主运动平台上，第二驱动装置和第三驱动装置的电机动子分别设置于工作末端和往复运动端上。或者，第二驱动装置和第三驱动装置为同一个凸轮驱动装置，包括设置于主运动平台上的旋转电机，旋转电机的驱动轴上设置有与主运动平台平行的盘状凸轮，盘状凸轮上设有中心对称的导向槽，工作末端和往复运动端分别通过第一连接结构和第二连接结构与导向槽滑动连接，导向槽的中心与驱动轴的中心轴重合，且工作末端和往复运动端与导向槽的两个接触点始终与导向槽的中心共线。

可选地，第一驱动装置为直线电机，第一驱动装置的电机定子设置于基座上，第一驱动装置的电机动子设置于主运动平台上。