[发明专利]一种高分辨率光刻胶组合物及其应用

权利要求书

1.一种高分辨率光刻胶组合物，其特征在于，包括如下质量份的原料组分：10-30份酚醛树脂、1-20份光敏增强树脂、1-3份光敏剂和70-100份有机溶剂；

其中，所述光敏增强树脂为下述化学结构所示：

x、y、z为对应单体的摩尔分数，0.1≤x≤0.5，0.1≤y≤0.3、x+y+z＝1；

所述光敏剂为2，3，4，4'-四羟基二苯甲酮和2，1，5-重氮萘醌磺酰氯的酯化物或2，2'，4，4'-四羟基二苯甲酮和2，1，5-重氮萘醌磺酰氯的酯化物。

2.根据权利要求1所述的高分辨率光刻胶组合物，其特征在于，所述酚醛树脂为线性酚醛树脂。

3.根据权利要求2所述的高分辨率光刻胶组合物，其特征在于，所述线性酚醛树脂是由间甲酚与对甲酚的酚类化合物和甲醛的醛类化合物通过缩聚反应生成。

4.根据权利要求2所述的高分辨率光刻胶组合物，其特征在于，所述线性酚醛树脂的重均分子量为2000-30000。

5.根据权利要求1-4任一项所述的高分辨率光刻胶组合物，其特征在于，所述光敏增强树脂是由式2所示聚合物和2-重氮-1-萘醌-5-磺酰氯通过酯化反应生成，其中，所述式2所示聚合物为下述化学结构所示：

x、y、z为对应单体的摩尔分数，0.1≤x≤0.5，0.1≤y≤0.3、x+y+z＝1。

6.根据权利要求5所述的高分辨率光刻胶组合物，其特征在于，所述式2所示聚合物和2-重氮-1-萘醌-5-磺酰氯的质量比为2-6:1。

7.根据权利要求1-4任一项所述的高分辨率光刻胶组合物，其特征在于，所述有机溶剂为乳酸乙酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙二醇单甲醚、二乙二醇二甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚或二乙二醇单甲醚中的至少一种。

8.根据权利要求1-4任一项所述的高分辨率光刻胶组合物，其特征在于，所述光敏光刻胶组合物还包括流平剂、着色剂、增塑剂或者表面活性剂中的至少一种。

9.一种权利要求1-8任一项所述的高分辨率光刻胶组合物在光刻工艺中的应用。