[发明专利]一种光刻胶组合物及其制备方法有效
| 申请号： | 202011537032.7 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112684661B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 徐娟;王猛;周建 | 申请（专利权）人： | 江苏穿越光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/016 |
| 代理公司： | 深圳市洪荒之力专利代理有限公司 44541 | 代理人： | 李向丹 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 组合 及其 制备 方法 | ||
1.一种光刻胶组合物，其特征在于，包括：酚醛树脂、重氮类感光化合物和有机溶剂；
其中，所述酚醛树脂包括线性酚醛树脂和二氧化硅改性酚醛树脂；
所述二氧化硅改性酚醛树脂为分子链接枝有纳米二氧化硅的酚醛树脂，其是由酚醛树脂与含环氧基团硅烷偶联剂改性后的纳米二氧化硅开环加成反应形成；
所述含环氧基团硅烷偶联剂为3-缩水甘油醚氧基丙基三乙氧基硅烷、3-缩水甘油醚氧基丙基三甲氧基硅烷或3-缩水甘油醚氧基丙基甲基二乙氧基硅烷。
2.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述酚醛树脂、重氮类感光化合物和有机溶剂的重量比为10-30:1-10:50-90。
3.根据权利要求1或2所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述线性酚醛树脂和二氧化硅改性酚醛树脂的重量比为0.5-2:1。
4.根据权利要求1或2所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述线性酚醛树脂是由酚类化合物与醛类化合物通过缩聚反应形成；
所述酚类化合物包括间甲酚和对甲酚，间甲酚与对甲酚的质量比为1-3:1。
5.根据权利要求1或2所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述重氮类感光化合物为2，3，4，4'-四羟基二苯甲酮和2，1，5-重氮萘醌磺酰氯的酯化物或2，2'，4，4'-四羟基二苯甲酮和2，1，5-重氮萘醌磺酰氯的酯化物。
6.根据权利要求1或2所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述有机溶剂为丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、乳酸乙酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙二醇单甲醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇单甲醚中的至少一种。
7.根据权利要求1或2所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物还包括流平剂、着色剂、增塑剂或者表面活性剂。
8.一种权利要求1-7任一项所述光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，包括：将酚醛树脂、重氮类感光化合物和有机溶剂混匀。
9.一种半导体元件，其特征在于，其是利用权利要求1-7任一项所述的光刻胶组合物制造形成。
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