[发明专利]半导体制造系统的调度方法

权利要求书

1.一种半导体制造系统调度方法，其特征在于，

根据半导体制造系统的调度工作者的调度知识和经验，选择调度规则中需要考虑的因素，并设计调度规则；

选择影响半导体生产线性能的量化状态；

确定作业批次的调度优先级；

建立神经网络调度模型，用以获得优化的神经网络权重参数。

2.根据权利要求1所述的半导体制造系统调度方法，其特征在于，所述建立调度模型的过程包括以下步骤：

S1，对制造系统，计算每一批作业中紧急作业的比例；

S2，计算每一批作业的批次大小与最大批次的比率；

S3，计算每一批作业在当前加工该批作业的制造设备上占用的时间与最大占用时间的比率，以及下游设备的工作负载水平；

S4，将相应的权重参数与量化状态相关联，通过计算生产线量化状态与权重参数之间的乘积之和来获得调度优先级；

S5，利用BPNN反向传播神经网络，基于已有的数据进行参数预测，根据训练好的权重矩阵反向求解得到新的最优参数；

S6，通过粒子群优化算法PSO对所述神经网络参数进行优化调整，直到粒子群算法收敛，得到所述神经网络权重参数矩阵。

3.根据权利要求2所述的半导体制造系统的调度方法，其特征在于，所述步骤S1具体包括：

S11，对于机器i队列中的每个作业n，计算要在机器i上处理的作业n的紧急程度：

这里，代表在时间t上要在机器i上处理的作业n的紧急度；代表机器i上作业n的剩余处理时间；F_n代表作业n的平均循环周期与其处理时间的比值；D_n代表作业n的交货日期；代表机器i上作业n的占用时间。

S12，对于能够在时间t内完成作业n的下一个步骤的机器i的，确定每个下游机器ID，并计算其工作负载级别

这里，是指机器ID上的作业h在机器ID队列中的占用时间；T_id代表一天中机器ID的可用时间。

S13，对于作业n，根据公式(3)计算其被选择的优先级S_n；

代表作业i在机器i的队列中的停留时间。

参数α₁和α₂分别用以衡量按时交付和工作负载平衡的相对重要性。

4.根据权利要求3所述的一种半导体系统的协同调度方法，其特征在于，所述步骤S2进一步包括，

S21，在机器i的队列中批处理作业，对于机器i的每个配方im，如果使用相同配方的紧急作业数量少于B_i，检查机器i队列中是否存在与这些紧急作业使用相同配方的普通作业，如果合格的作业数量不少于要求的数量，则根据机器i降序排列之前的排队时间，选择个作业，以组成具有最大批次大小的批次，否则，选择所有合格的普通作业，即组成一个批处理。

这里，B_i是指当前批处理设备的最大容量；是二进制变量，如果作业n在机器i上使用配方im，则否则，N_im指在机器i上使用配方im的作业的总数量。

S22，确定当前正在处理或刚在上游机器iu处加工完成并且下一步将由机器i完成的作业是否包含紧急任务，确定机器i是否是瓶颈设备。如果在当前机器i以及其上游机器中排队的紧急作业的数量超过该机器i的每日最大容量，则将机器i视为瓶颈，即

这里，P_im是指在机器i上，对于配方为im的作业的处理时间；是瓶颈设备的标志。

S23，根据所需的机器i的配方批处理作业，如果具有相同配方的作业数超过了机器i的容量，请根据机器i降序排列之前的排队时间选择B_i个作业以组成一批。

S24，确定下游机器ID是否空闲，如果队列中的作业数量不超过其每日最低容量，则将下游机器ID标识为空闲计算机，

同时，确定是否有要在空闲下游机器ID上进行下一步处理的机器i之前排队的作业，这望为空闲标志，为1代表空闲，为0代表不空闲。

N_id是机器ID的队列中的作业总数；B_id代表该下游机器ID的容量；是在机器ID上配方为v的作业的处理时间。