[发明专利]一种实时测量MOCVD反应腔内气相温度的飞秒CARS系统有效
| 申请号： | 202011538459.9 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112747837B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 方海生;聂圻春;刘胜;甘志银 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01K11/324 | 分类号： | G01K11/324;C30B25/16;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 杨采良 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 实时 测量 mocvd 反应 腔内气相 温度 cars 系统 | ||
1.一种实时测量MOCVD反应腔内气相温度的飞秒CARS系统，其特征在于：包括MOCVD腔体系统(1)、飞秒CARS系统(2)，所述MOCVD腔体系统(1)上设MOCVD反应腔激光入射口(3)和MOCVD反应腔激光出射口(4)，所述飞秒CARS系统(2)的激光出射口与所述MOCVD反应腔激光入射口(3)连接，所述飞秒CARS系统(2)的激光入射口与所述MOCVD反应腔激光出射口(4)连接；
所述MOCVD腔体系统(1)由腔体壁(5)和反射镜(7)组成，所述反射镜(7)为多个，多个所述反射镜(7)均匀分布于所述腔体壁(5)的内壁及底部，所述腔体壁(5)内填充气相物质(6)，所述腔体壁(5)的上段两侧分别设置所述MOCVD反应腔激光入射口(3)和所述MOCVD反应腔激光出射口(4)；
所述MOCVD腔体系统(1)内的所述反射镜(7)与计算机(11)电性连接，所述反射镜(7)通过计算机(11)控制角度变化；
所述MOCVD反应腔激光入射口(3)内包含第一凸透镜(8)和移动所述第一凸透镜(8)的机械装置(9)，所述机械装置(9)与计算机(11)连接，所述MOCVD反应腔激光出射口(4)内设置有凸透镜(10)；
所述飞秒CARS系统(2)由飞秒激光器(12)、第一分束器(13)、第二分束器(14)、光学参量放大器(15)、第三凸透镜(16)、第四凸透镜(17)和光谱仪(18)组成，所述飞秒激光器(12)的发射光与所述第一分束器(13)连接，所述第一分束器(13)分出的两条光分别与所述第二分束器(14)和所述光学参量放大器(15)的入射端连接，所述第二分束器(14)分出的两条光分别与所述第三凸透镜(16)的上端和下端连接，所述光学参量放大器(15)的发射光与所述第三凸透镜(16)的中部连接，所述光学参量放大器(15)的控制端与计算机(11)的控制信号端连接，所述第三凸透镜(16)的发射光与所述MOCVD反应腔激光入射口(3)连接，所述MOCVD反应腔激光出射口(4)的发射光与所述第四凸透镜(17)连接，所述第四凸透镜(17)的发射光与所述光谱仪(18)的入射光连接，所述光谱仪(18)的发射光与所述计算机(11)的光信号数据接收端连接。
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