[发明专利]半导体封装一体机有效
申请号: | 202011539685.9 | 申请日: | 2020-12-23 |
公开(公告)号: | CN112490160B | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 梁志宏 | 申请(专利权)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 赵磊 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 一体机 | ||
1.半导体封装一体机,其特征在于,包括:
机架(100);
第一上料机构(1),安装于所述机架(100)上,用于供应第一支架;
点胶机构(2),安装于所述机架(100)上并与所述第一上料机构(1)接驳,用于对所述第一支架进行点胶;
供晶机构(3),安装于所述机架(100)上,用于供应芯片;
固晶机构(4),安装于所述机架(100)上,并分别与所述点胶机构(2)和所述供晶机构(3)接驳,用于将所述芯片固设于所述第一支架上;
第二上料机构(5),安装于所述机架(100)上,用于供应第二支架;
合片机构(6),安装于所述机架(100)上并与所述第二上料机构(5)接驳,用于将所述第二支架与所述第一支架贴合形成合片体,所述合片机构(6)上安装有合片载具(61)和载具移料单元(60),所述合片载具(61)包括底座和盖板;
回流焊机构(7),安装于所述机架(100)上并与所述合片机构(6)接驳,用于对所述合片体进行回流焊处理;所述回流焊机构(7)包括用于将所述合片体与所述合片载具(61)分离的分离单元(76)、用于回收所述合片体的第一收料单元(77)和用于回收所述合片载具(61)的第二收料单元(78),所述分离单元(76)、所述第一收料单元(77)和所述第二收料单元(78)分别安装于所述机架(100)上;所述分离单元(76)包括安装于所述机架(100)上的分离框架(761)、安装于所述分离框架(761)上的安装座(762)、安装于所述安装座(762)上的多个分离夹(763)、用于控制多个所述分离夹(763)开合的分离电机(764)和用于驱动所述安装座(762)移动的分离驱动单元(765),所述分离电机(764)安装于所述安装座(762)上,所述分离电机(764)分别与多个所述分离夹(763)相连,所述分离驱动单元(765)安装于所述分离框架(761)上,所述分离驱动单元(765)与所述安装座(762)相连;
其中,所述点胶机构(2)的数量、所述供晶机构(3)的数量和所述固晶机构(4)的数量均为多个,所述供晶机构(3)的数量与所述固晶机构(4)的数量相同,所述固晶机构(4)的两侧分别设有所述点胶机构(2),两个所述点胶机构(2)、一个所述供晶机构(3)和一个所述固晶机构(4)组合成点胶固晶模组,所述第一上料机构(1)和所述合片机构(6)之间设有多组成个所述点胶固晶模组。
2.如权利要求1所述的半导体封装一体机,其特征在于:所述第一上料机构(1)包括安装于所述机架(100)上的上料架(11)、用于盛装所述第一支架的物料框(12)、用于将所述第一支架移送至所述点胶机构(2)上的皮带送料单元(13)、用于将所述物料框(12)中的所述第一支架移取至所述皮带送料单元(13)上的取料单元(14)和用于驱动所述取料单元(14)移动的上料驱动单元(15);所述物料框(12)、所述皮带送料单元(13)、所述取料单元(14)和所述上料驱动单元(15)分别安装于所述上料架(11)上,所述上料驱动单元(15)与所述取料单元(14)相连。
3.如权利要求1所述的半导体封装一体机,其特征在于:所述点胶机构(2)包括用于夹持所述第一支架的夹料单元(21)、用于驱动所述夹料单元(21)横向移动的夹料横移单元(22)、用于驱动所述夹料单元(21)纵向移动的夹料纵移单元(23)、用于对所述夹料单元(21)上的所述第一支架进行点胶的点胶单元(24)和用于驱动所述点胶单元(24)横向移动的点胶横移单元(25);所述夹料横移单元(22)安装于所述机架(100)上,所述夹料单元(21)与所述夹料纵移单元(23)相连,所述夹料纵移单元(23)与所述夹料横移单元(22)相连,所述点胶横移单元(25)安装于所述机架(100)上,所述点胶横移单元(25)与所述点胶单元(24)相连。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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