[发明专利]倾斜斐索波数扫描干涉仪

权利要求书

1.倾斜斐索波数扫描干涉仪，其特征在于，包括半导体激光器(1)、准直调节镜(2)、参考镜(3)、远心镜头(4)、光谱图像采集器(5)和数据处理部件(6)；其中：

所述半导体激光器(1)用于发出相关光；

所述准直调节镜(2)将半导体激光器(1)发出的相关光准直并将调节后的光引导入射至所述参考镜(3)；

相关光在所述参考镜(3)中产生反射，反射光到达所述远心镜头(4)形成第一反射光路；

相关光通过所述参考镜(3)透射到被测透镜，在被测透镜产生反射，反射光达到所述远心镜头(4)形成第二反射光路；

所述半导体激光器(1)、准直调节镜(2)的组合为发射光路；所述远心镜头(4)、光谱图像采集器(5)的组合为接收光路；发射光路和接收光路倾斜产生一定的角度，使所述第一反射光路和所述第二反射光路所述远心镜头(4)汇合而发生干涉，产生干涉光谱；

所述光谱图像采集器(5)用于采集干涉光谱图像；

所述数据处理部件(6)根据采集到的干涉光谱图像计算被测透镜的三维轮廓信息。

2.根据权利要求1所述的倾斜斐索波数扫描干涉仪，其特征在于，所述准直调节镜(2)采用平凸透镜。

3.根据权利要求1所述的倾斜斐索波数扫描干涉仪，其特征在于，所述参考镜(3)为中心厚度为6毫米、倾角为10度的光楔。

4.根据权利要求1所述的倾斜斐索波数扫描干涉仪，其特征在于，所述光谱图像采集器(5)为CMOS相机或CCD相机。

5.根据权利要求1所述的倾斜斐索波数扫描干涉仪，其特征在于，所述远心镜头(4)采用双远心镜头。

6.根据权利要求1～5任一项所述的倾斜斐索波数扫描干涉仪，其特征在于，所述光谱图像采集器(5)采集所述参考镜(3)前后表面S₁、S₂以及被测透镜前后表面S₃、S₄四个表面的反射光叠加后的干涉光光强。

7.根据权利要求6所述的倾斜斐索波数扫描干涉仪，其特征在于，所述数据处理部件(6)扫描接收干涉光谱图像，扫描波数随时间变化计算过程为：

k(t)＝k₀+Δk·t,t∈[0,T]

其中，k₀为激光起始输出的波数值；Δk为激光波数扫描的范围。

8.根据权利要求7所述的倾斜斐索波数扫描干涉仪，其特征在于，在所述数据处理部件(6)中，将所述光谱图像采集器(5)采集到干涉光光强具体表示为：

Λ_pq(x,y)＝n_pq·z_pq(x,y)

其中，I₁、I₂、I₃和I₄分别表示所述参考镜(3)前后表面S₁、S₂以及被测透镜前后表面S₃、S₄四个表面的反射光光强；Λ_pq为表面S_p到表面S_q的光程差；n_pq为表面S_p到表面S_q的平均折射率；z_pq为表面S_p到表面S_q的位置差。