[发明专利]高压信号源、介电响应测试设备、测试系统及测试方法

权利要求书

1.一种高压信号源，其特征在于，包括：

时钟生成模块，用于生成时钟信号；

频率合成模块，与所述时钟生成模块连接，用于根据所述时钟信号的时钟频率生成第一低压信号，所述第一低压信号的输出频率的范围与所述时钟频率相对应；所述频率合成模块包括：

至少两个频率合成器，各所述频率合成器的输入端均与所述时钟生成模块连接，各所述频率合成器分别被配置有不同的合成参数，所述频率合成器用于根据所述合成参数和所述时钟频率生成第三低压信号；所述合成参数为通过编程进行调节的参数；

加法器，分别与各所述频率合成器的输出端连接，用于对多个所述第三低压信号进行加法运算，以生成所述第一低压信号；

信号调理模块，与所述频率合成模块连接，用于对所述第一低压信号进行滤波处理，以生成第二低压信号；

电压放大模块，与所述信号调理模块连接，用于放大所述第二低压信号的幅值，以生成高压信号。

2.根据权利要求1所述的高压信号源，其特征在于，所述第一低压信号的周期等于多个所述第三低压信号的周期的最小公倍数。

3.根据权利要求1所述的高压信号源，其特征在于，所述频率合成模块包括两个所述频率合成器，两个所述频率合成器生成的所述第三低压信号均为正弦波信号。

4.根据权利要求1所述的高压信号源，其特征在于，所述信号调理模块包括：

放大单元，与所述频率合成模块连接，用于放大所述第一低压信号的幅值，以生成第四低压信号；

去直单元，与所述放大单元连接，用于滤除所述第四低压信号中的直流偏置分量，以生成交流的第二低压信号，所述第二低压信号的正幅值与负幅值相等。

5.一种介电响应测试设备，其特征在于，包括：

如权利要求1至4任一项所述的高压信号源，所述高压信号源用于生成激励电压信号，所述激励电压信号用于施加在样品上，以使所述样品产生介质电流；

电流测量模组，用于接收并测量所述介质电流的电流值；

数据采集模组，分别与所述高压信号源、所述电流测量模组连接，用于根据所述介质电流的电流值和所述激励电压信号生成参考曲线；

处理器，与所述数据采集模组连接，用于根据所述参考曲线获取测试结果。

6.根据权利要求5所述的介电响应测试设备，其特征在于，所述电流测量模组包括：

运算放大器，所述运算放大器的同相输入端接地，所述运算放大器的反相输入端用于接收所述介质电流；

第一电阻；

第二电阻，与所述第一电阻串联连接于所述运算放大器的同相输入端和输出端之间；

第三电阻，所述第三电阻的一端与所述运算放大器的反相输入端连接，所述第三电阻的另一端与所述第二电阻未接地的一端连接；

其中，所述运算放大器的输出端的电压与所述介质电流反向相关。

7.根据权利要求5所述的介电响应测试设备，其特征在于，还包括：

电压衰减模组，分别与所述高压信号源、所述数据采集模组连接，用于对所述激励电压信号进行衰减，并将衰减后的信号传输至所述数据采集模组，以与所述激励电压信号共同生成参考曲线。

8.一种测试系统，其特征在于，包括：

如权利要求5至7任一项所述的介电响应测试设备；

控制设备，与所述介电响应测试设备连接，用于接收外部输入的测试指令，并响应于所述测试指令控制所述介电响应测试设备进行测试，还用于接收所述介电响应测试设备生成的测试结果，并对所述测试结果进行处理。

9.一种测试方法，其特征在于，应用于如权利要求8所述的测试系统，所述测试方法包括：

控制设备接收外部输入的测试指令，并响应于所述测试指令控制介电响应测试设备进行测试；

介电响应测试设备执行测试，以获取试品的介电响应特性作为测试结果；

控制设备接收所述测试结果，并对所述测试结果进行处理。