[发明专利]一种镝/铽靶的制造方法

权利要求书

1.一种镝/铽靶的制造方法，其步骤包括：

A、将含镝/铽的合金配料或纯镝/铽在高真空条件或惰性气体保护条件下加热到1420℃或合金熔点以上，然后在真空或惰性气体保护条件下浇铸，形成铸坯；

B、铸坯在惰性气体保护或真空条件下在700-1380℃或凝固点以下750℃以上的温度区间保温一段时间，然后缓慢冷却，获得单一的六方结构相并且晶粒组织结构均匀一致的铸坯；

C、将铸坯在惰性气体保护或真空条件并在25℃到350℃温度区间内进行变形加工，加工成棒材、线材、厚板或厚壁管坯；

D、将坯料机械加工成所需形状的镝/铽靶。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤A中的合金配料中镝/铽重量含量在50％以上，其余配料为有助于或至少不有害于镝/铽靶晶界扩散的金属元素。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述金属元素为铜、铝、钛或钬。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤C中铸坯的变形加工为一次或多次，多次加工时，每次加工前对铸坯进行退火处理，退火温度为420℃到1380℃，退火时间5到2000分钟，退火后随炉冷却或通入惰性气体冷却；退火过程中需要对坯料进行必要的防氧化保护。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：多次加工时，每次在25-200℃油浴或惰性气体保护条件下对铸坯进行轧制或挤压变形加工，每次加工变形量2-20％，多次加工总的变形量为40-50％。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤D中，将表面产生凹槽的原始镝/铽靶的凹槽部分加工成规则形状，然后将坯料机械加工成与凹槽对应的形状，将加工后的坯料用纯镝/铽紧固件将镶嵌固定在原始镝/铽靶。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤D中，将坯料机械加工成与圆形或矩形平面镝/铽靶，并准备相同材质或异种材质的圆形或矩形平面镝/铽靶底座，用纯镝/铽紧固件将圆形或矩形平面镝/铽靶固定在圆形或矩形平面镝/铽靶底座上；所述异种材质为纯铜、纯铝、纯钛中任意一种材质或任意一种与纯镝/铽构成的合金。

8.一种权利要求1-7任一项所述方法制备出的镝/铽靶的用途，其特征在于：用于制造传感器、磁记录或磁功能器件。