[发明专利]一种耐刻蚀光刻胶组合物

权利要求书

1.一种耐刻蚀光刻胶组合物，其特征在于，其原料包括：10-35重量份的复合酚醛树脂、1-8重量份的重氮类感光剂、30-65重量份的有机溶剂；所述复合酚醛树脂由线型酚醛树脂、金属改性酚醛树脂组成。

2.根据权利要求1所述的耐刻蚀光刻胶组合物，其特征在于，复合酚醛树脂中，线型酚醛树脂与金属改性酚醛树脂重量比为1-10:1；优选地，所述线型酚醛树脂与金属改性酚醛树脂的重量比为1-5:1。

3.根据权利要求1或2所述的耐刻蚀光刻胶组合物，其特征在于，金属改性酚醛树脂为铝、铬或钼改性酚醛树脂；优选地，所述金属改性酚醛树脂为铬改性酚醛树脂。

4.根据权利要求1-3任一项所述的耐刻蚀光刻胶组合物，其特征在于，所述金属改性酚醛树脂制备方法包括如下步骤：(1)苯酚与甲醛在催化剂甲酸铬作用下进行羟甲基化反应，得到酚醛树脂中间体；(2)经酸化处理的金属酸铵与酚醛树脂中间体进行酯化反应，得到金属改性酚醛树脂。

5.根据权利要求4所述的耐刻蚀光刻胶组合物，其特征在于，所述金属改性酚醛树脂制备方法中酯化反应的具体步骤为：向酚醛树脂中间体中加入经酸化处理的金属酸铵，搅拌，调节pH为2-3，升温至85-100℃反应2-3h，调节pH至中性，脱水，即得到金属改性酚醛树脂。

6.根据权利要求4或5所述的耐刻蚀光刻胶组合物，其特征在于，所述经酸化处理的金属酸铵的重量为苯酚和甲醛重量之和的5-15wt％；优选为10-15wt％。

7.根据权利要求1-6任一项所述的耐刻蚀光刻胶组合物，其特征在于，有机溶剂选自丙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚、乙二醇乙醚乙酸酯、丙二酸二乙酯、乙酸乙酯、乳酸乙酯中一种或多种的组合。

8.根据权利要求1-7任一项所述的耐刻蚀光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物还包括着色剂、表面活性剂、增粘剂。