[发明专利]一种LED芯片粗化液及其制备方法与应用

权利要求书

1.一种LED芯片粗化液，其特征在于，它包括的组分及其质量百分比为：

无机酸5-30％，

有机酸5-10％，

多胺化合物5-20％，

氧化剂0.1-5％，

润湿剂0.01-1％，

余量为去离子水；

所述无机酸为盐酸、硝酸、磷酸、硫酸、氢氟酸中的一种或几种；

所述有机酸为甲酸，乙酸，丁酸，草酸，酒石酸，琥珀酸，柠檬酸，葡萄糖酸，氨基己酸，甲基磺酸，甲基苯磺酸，对羟基苯磺酸，氨基磺酸中的一种或几种；

所述多元胺选自乙二胺、己二胺、六亚甲基四胺、三乙醇胺、氯化铵、甘氨酸、天冬氨酸、磷酸铵、碳酸铵中的一种或几种；

所述氧化剂选自双氧水、重铬酸钾、高碘酸钾、硝酸铈铵、硫酸铁铵、氯酸钾、高氯酸钾、铁氰酸钾、次氯酸钠、高锰酸钾中的一种或几种；

所述润湿剂为耐强酸和强氧化剂的全氟烷基甜菜碱。

2.根据权利要求1所述的一种LED芯片粗化液，其特征在于：它包括的组分及其质量百分比为：

无机酸10-20％，

有机酸5-10％，

多胺化合物5-20％，

氧化剂0.1-5％，

润湿剂0.01-1％，

余量为去离子水。

3.根据权利要求1所述的一种LED芯片粗化液，其特征在于：所述无机酸为硝酸和/或氢氟酸。

4.根据权利要求1所述的一种LED芯片粗化液，其特征在于：所述盐酸的质量分数为37％，磷酸的质量分数为85％，硫酸的质量分数为98％，氢氟酸的质量分数为40％，硝酸的质量分数为30％。

5.根据权利要求1所述的一种LED芯片粗化液，其特征在于：所述有机酸为酒石酸、琥珀酸或柠檬酸。

6.根据权利要求1所述的一种LED芯片粗化液，其特征在于：所述多元胺为乙二胺或氯化铵。

7.根据权利要求1所述的一种LED芯片粗化液，其特征在于：所述氧化剂为高碘酸钾或高氯酸钾。

8.根据权利要求1所述的一种LED芯片粗化液，其特征在于：所述全氟烷基甜菜碱为全氟十二烷基二甲基磺乙基甜菜碱、全氟十二烷基二甲基甜菜碱、全氟十二烷基二甲基磺丙基甜菜碱、全氟十二烷基二甲基羟丙基磷酸脂甜菜碱、全氟十二烷基二甲基羧酸酯甜菜碱、全氟十六烷基二甲基羟丙基羧酸酯甜菜碱中的一种或几种。

9.根据权利要求1所述的一种LED芯片粗化液的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：

(1)根据粗化液组成，将溶剂水加入搅拌釜内，打开搅拌，并始终控制搅拌釜温度在20-30℃；

(2)沿搅拌釜内壁，按比例倒入无机酸，混合均匀至澄清；

(3)沿搅拌釜内壁，按比例加入有机酸，混合均匀至澄清；

(4)沿搅拌釜内壁，按比例加入多胺化合物，混合均匀至澄清；

(5)沿搅拌釜内壁，按比例加入氧化剂，混合均匀至澄清；

(6)沿搅拌釜内壁，按比例加入润湿剂，混合均匀至澄清；

以上制备步骤中混合均匀至澄清后，方可添加下一物料。

10.根据权利要求1所述的一种LED芯片粗化液的应用，其特征在于：该粗化液用于AlGaInP层、ALGaAs层、GaAsP层、GaP层、GaN层III-V半导体外延层的表面粗化处理，将表面微图形化。