[发明专利]供电电路、半导体加工设备和供电控制方法

权利要求书

1.一种供电电路，用于实现电源向半导体加工设备中的伺服模块供电，其特征在于，包括切换模块、延时模块和开关模块，其中，所述切换模块用于在所述伺服模块断电时，将所述电源与所述延时模块接通；

所述延时模块用于在通电时开始计时，并在经过第一指定时长之后，将所述切换模块与所述开关模块接通，以使所述开关模块通电；

所述开关模块用于在通电时接收控制器发送的控制信号，并根据所述控制信号将所述延时模块与所述伺服模块接通，以使所述伺服模块通电，且在经过第二指定时长之后断开；所述伺服模块在通电后触发所述切换模块将所述电源与所述延时模块断开，同时将所述电源与所述伺服模块接通。

2.根据权利要求1所述的供电电路，其特征在于，所述切换模块包括至少两个，且结构相同，至少两个所述切换模块在所述伺服模块断电时，形成将所述电源与所述延时模块接通的第一串联电路；在被所述伺服模块触发时，形成将所述电源与所述伺服模块接通的第二串联电路，同时同步将所述电源与所述延时模块断开。

3.根据权利要求1或2所述的供电电路，其特征在于，所述切换模块包括接触器，所述接触器包括主开关和四个辅助开关，其中，所述主开关的两个触点分别与所述电源的第一极和所述伺服模块的电源输出端电连接，所述主开关在所述伺服模块断电时处于断开状态；在所述伺服模块通电时，被触发切换至闭合状态；

所述四个辅助开关分别为第一常闭开关、第二常闭开关、第一常开开关和第二常开开关，其中，所述第一常闭开关的两个触点分别与所述电源的第二极和所述延时模块的电源输入端电连接；

所述第二常闭开关的两个触点分别与所述电源的第二极和所述延时模块的触发信号端电连接；

所述第一常开开关的两个触点分别与所述电源的第二极和所述伺服模块的电源输入端电连接；

所述第二常开开关的两个触点分别与所述电源的第二极和所述控制器的信号输入端电连接。

4.根据权利要求3所述的供电电路，其特征在于，所述延时模块包括第一时间继电器，所述第一时间继电器的电源输出端与所述开关模块的电源输入端电连接。

5.根据权利要求4所述的供电电路，其特征在于，所述开关模块包括第二时间继电器，所述第二时间继电器的电源输出端与所述伺服模块的电源输入端电连接；所述第二时间继电器的触发信号端与所述控制器的信号输出端电连接。

6.根据权利要求5所述的供电电路，其特征在于，所述伺服模块包括伺服设备和切断开关，其中，所述切断开关串联在所述开关模块与所述伺服设备之间，且所述切断开关的电源输入端与所述第二时间继电器的电源输出端电连接，所述切断开关的电源输出端与所述伺服模块的电源输入端及所述主开关的触点电连接；所述切断开关用于接通或断开所述第二时间继电器与所述伺服设备之间的电连接，以及触发所述主开关。

7.根据权利要求6所述的供电电路，其特征在于，所述伺服模块还包括互锁机构，所述互锁机构串联在所述开关模块与所述切断开关之间，用于在异常时断开所述开关模块与所述切断开关之间的电连接。

8.根据权利要求1所述的供电电路，其特征在于，所述第一指定时长大于或等于60s。

9.根据权利要求1所述的供电电路，其特征在于，所述第二指定时长大于或等于2s。

10.一种半导体加工设备，包括伺服模块和用于向所述伺服模块提供电能的电源，其特征在于，还包括控制器和权利要求1-9任意一项所述的供电电路，所述控制器用于控制所述供电电路向所述伺服模块供电。

11.一种供电控制方法，其特征在于，用于控制权利要求1-8所述的供电电路向伺服模块供电，所述供电控制方法包括：

向所述开关模块发送控制信号；

判断所述延时模块的计时是否达到所述第一指定时长；

若否，则所述控制信号无法发送，流程结束；

若是，则所述控制信号发送成功，所述开关模块根据所述控制信号将所述延时模块与所述伺服模块接通，以使所述伺服模块通电，且在经过第二指定时长之后断开；

判断所述切换模块是否在所述第二指定时长内将所述电源与所述延时模块断开，同时将所述电源与所述伺服模块接通；若是，则所述伺服模块保持通电；若否，则取消所述控制信号，并抛出报警。