[发明专利]一种自驱动微流道散热系统及其制造方法

权利要求书

1.一种自驱动微流道散热系统，其特征在于，包括：

微流道热沉，其贴附于待散热器件的表面，包括：

第一绝缘层，其表面设置有第一电极层，所述第一电极层为图形化电极；

第二绝缘层，其与所述第一绝缘层相对设置，所述第二绝缘层的避免设置有第二电极层，所述第二电极层为图形化电极；以及

若干热电元件，各热电元件的两端分别电连接至所述第一电极层以及第二电极层，各热电元件之间的间隙形成流道；

泵，其电连接至所述微流道热沉的第一或第二电极层；

冷却器，其与所述泵及所述流道配合，形成冷却液流动的管道。

2.如权利要求1所述的自驱动微流道散热系统，其特征在于，所述热电元件包括交替设置的P型材料及N型材料。

3.如权利要求1所述的自驱动微流道散热系统，其特征在于，所述第一电极层和/或第二电极层表面包括阻挡层。

4.如权利要求1所述的自驱动微流道散热系统，其特征在于，所述第一电极层和/或第二电极层的材料为铜、铝、金、银、铟、多孔镍、钼中的一种或其合金。

5.如权利要求3所述的自驱动微流道散热系统，其特征在于，所述阻挡层的材料为金、银、钽、铜、锑、镍、钼中的一种或其合金。

6.如权利要求1所述的自驱动微流道散热系统，其特征在于，所述第一绝缘层或第二绝缘层上设置有硅通孔，所述硅通孔与对应的第一电极层或第二电极层电连接，所述泵电连接至所述硅通孔。

7.如权利要求1所述的自驱动微流道散热系统，其特征在于，所述第一电极层或所述第二电极层包括外接电极，所述泵电连接至所述外接电极。

8.一种微流道热沉的制造方法，其特征在于，包括步骤：

在第一绝缘层表面沉积制作图形化的第一电极层，并在所述第一电极层表面沉积阻挡层；

在所述阻挡层表面旋涂第一光刻胶，并沉积P型材料；

去除所述第一光刻胶；

在所述阻挡层表面旋涂第二光刻胶，并沉积N型材料；

在所述第二光刻胶表面形成焊料层；

图形化所述焊料层，并去除所述第二光刻胶；

在第二绝缘层上刻蚀通孔并制作硅通孔，然后在所述第二绝缘层表面沉积制作图形化的第二电极层；以及

将所述第二电极层与所述焊料层键合密封。

9.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，还包括：在形成所述焊料层之前，先在所述第二光刻胶表面沉积阻挡层。

10.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，所述第一光刻胶和/或所述第二光刻胶的厚度为10um-0.5mm。