[发明专利]传送设备和物品的制造方法

说明书

本发明涉及传送设备和物品的制造方法。传送设备包括其中沿着第一方向布置有多个线圈的定子和沿着所述多个线圈移动的可动元件。定子包括第一磁体组，第一磁体组包括沿着第一方向布置并且沿一个方向被磁化的多个第一磁体。可动元件包括第二磁体组和第三磁体组，第二磁体组包括被布置成面对所述多个线圈的多个第二磁体，第三磁体组包括被布置成面对第一磁体组并且在排斥第一磁体组的方向上被磁化的多个第三磁体。

技术领域

本公开涉及传送设备和物品的制造方法。

背景技术

传送设备通常用于组装工业产品的生产线或半导体曝光设备中。特别地，生产线中的传送设备在工厂自动化生产线中或在各生产线之间的多个站之间传送例如构件的工件。在某些情况下，在处理设备中使用传送设备。作为传送设备，已经提出了其中采用移动磁体型线性马达的传送设备。

具有移动磁体型线性马达的传送设备包括涉及机械接触的引导设备，例如线性引导器。在采用诸如线性引导器之类的引导设备的这种传送设备中，存在由于例如在线性引导器的滑动单元处产生的污染材料(例如，来自轨道或轴承的磨损碎片、润滑油或挥发的润滑油)而导致的生产率下降的问题。另外，在高速传送期间滑动单元的摩擦变大，这缩短了线性引导器的使用寿命。

在解决问题的传送设备中，日本专利特开No.2016-532308讨论了一种能够以非接触方式传送传送托盘的磁悬浮传送设备。如日本专利特开No.2016-532308中所讨论的磁悬浮传送设备通过使用布置在腔室的上部部分中的用于悬浮的电磁体和沿着传送托盘的传送方向以规则的间隔布置在腔室的侧表面上的定子线圈来实现非接触式传送。

然而，尚未解决更稳定地传送可动元件的需求。

发明内容

根据本公开的第一方面，传送设备包括：定子，其中沿着第一方向布置有多个线圈；和可动元件，其构造成沿着所述多个线圈移动，其中，定子包括第一磁体组，第一磁体组包括沿着第一方向布置并且沿一个方向被磁化的多个第一磁体，并且其中，可动元件包括第二磁体组和第三磁体组，第二磁体组包括被布置成面对所述多个线圈的多个第二磁体，第三磁体组包括被布置成面对第一磁体组并且在排斥第一磁体组的方向上被磁化的多个第三磁体。

根据本公开的第二方面，传送设备包括：定子；和可动元件，其能够相对于定子在预定的传送方向上相对地移动；其中，定子包括沿着预定的传送方向布置的多个线圈、和包括沿着预定的传送方向布置的多个第一磁体的第一磁体组，并且其中，可动元件包括：第二磁体组，其面对定子的所述多个线圈并且包括多个第二磁体，用于通过在所述多个线圈和所述多个第二磁体之间产生的力使可动元件沿预定的传送方向移动；以及第三磁体组，其面对第一磁体组并且包括在相对于定子使可动元件相对地悬浮的方向上产生力的多个第三磁体。

根据本公开的第三方面，物品的制造方法包括：通过处理由如第一方面所限定的传送设备传送的工件来制造物品。

通过以下参考附图对示例性实施例的描述，本公开的其他特征将变得显而易见。

附图说明

图1是示出了本公开的第一示例性实施例的示意图。

图2A是示出了本公开的第一示例性实施例的示意图。

图2B是示出了本公开的第一示例性实施例的示意图。

图3是示出了本公开的第一示例性实施例的示意图。

图4是示出了本公开的第一示例性实施例的示意图。

图5是示出了本公开的第一示例性实施例的示意图。

图6是示出了本公开的第一示例性实施例的示意图。

图7是示出了本公开的第一示例性实施例的示意图。

图8A是示出了本公开的第一示例性实施例的示意图。