[发明专利]一种铝钪合金靶材及其制备方法与应用

权利要求书

1.一种铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，包括：

步骤1：将金属铝和金属钪进行合金化，得到铝钪母合金；

步骤2：采用甩带快淬法将所述铝钪母合金制成铝钪合金薄带；

步骤3：对所述铝钪合金薄带进行破碎制粉、筛分，得到铝钪合金粉末；

步骤4：对含有所述铝钪合金粉末的原料进行热压烧结、加工，得到铝钪合金靶材。

2.根据权利要求1所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤1所述的铝钪母合金中金属钪的质量百分比为35～78％。

3.根据权利要求1或2所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤1所述的将金属铝和金属钪进行合金化，具体包括：

将金属钪和金属铝在非活性气氛下升温至铝钪合金熔点以上100～200℃，保温10～30min，浇铸在水冷模具内进行冷却至室温。

4.根据权利要求1所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤2所述的甩带快淬法的具体条件包括：

采用甩带炉腔体中的熔炼装置对铝钪母合金进行熔炼，得到合金溶液，其中，熔炼温度为合金熔点以上50～150℃，熔炼装置内比甩带炉腔体内气压高0.1～2Pa；

将合金溶液排出所述熔炼装置，通过甩带炉腔体中的辊轮进行甩带快淬，其中辊轮转速为10～40m/s。

5.根据权利要求1所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤3所述的破碎制粉包括：

采用气流磨破碎机在非活性气流下进行破碎制粉；

步骤3所述的筛分包括：

取200目筛下、400目筛上合金粉末。

6.根据权利要求1所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤4所述热压烧结的具体条件包括：

热压温度为550～1200℃；

压力为10～40MPa；

恒温恒压时间为60～120min。

7.根据权利要求1所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤4所述原料由铝钪合金粉末和金属铝粉末组成，所述金属铝粉末的质量为所述原料的0.5～80％，所述金属铝粉末的纯度＞99.9％、氧含量质量百分比＜0.05％，所述金属铝粉末的粒径为200～400目。

8.根据权利要求1所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤4热压烧结后得到靶坯，所述加工包括：

对所述靶坯进行机加工，然后与背板绑定。

9.权利要求1～8任一项所述制备方法制备的铝钪合金靶材。

10.根据权利要求9所述铝钪合金靶材，其特征在于：

所述铝钪合金靶材的钪质量百分比含量为8～78wt％；

所述铝钪合金靶材的纯度＞99.95％、氧质量百分比含量＜0.05％；

所述铝钪合金靶材的致密度＞98％；

所述铝钪合金靶材的钪质量百分比含量偏差±0.2％。

11.权利要求1～8任一项所述制备方法制备的铝钪合金靶材在制备电子器件中的应用。