[发明专利]基于干涉法的液晶光学移相检测系统以及检测方法

权利要求书

1.基于干涉法的液晶光学移相检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将激光光源、二分之一波片、偏振分光棱镜、液晶光学相控阵样品、反射镜、四分之一波片、检偏器、电荷耦合元件架设在共轴光路中；S2、激光光源发出的光经过二分之一波片后入射到第一偏振分光棱镜上，第一偏振分光棱镜分别通过透射和反射将入射光分为两束偏振方向相互垂直的线偏振光；将第一偏振分光棱镜透射光的偏振方向与检偏器的方向调整为相互垂直，其中检偏器检偏方向标定为系统角度的0度位置；

S3、调整二分之一波片光轴的角度使第一偏振分光棱镜的分光比为1:1；

S4、将四分之一波片光轴方向调整在45度或135度，记录检偏器消光的角度θ₁；

S5、把待测样品放在第一偏振分光棱镜和第一反射镜之间，并精密调节位置，使得样品表面的反射光与入射光重合；其中一束线偏振光照射到液晶光学相控阵样品上，经液晶光学相控阵样品进行空间相位调制，再经第一反射镜反射后射入第二偏振分光棱镜；

另一束线偏振光经第二反射镜反射后射入第二偏振分光棱镜；第二偏振分光棱镜对两束入射光进行合束，并将合束后的光束依次经过四分之一波片和检偏器后照射到电荷耦合元件的靶面上，电荷耦合元件与计算机控制中心相连；

S6、将待测样品的光轴的方向设置在0度，旋转检偏器，使CCD上的光斑消光，记录此时检偏器的角度θ₂；

S7、计算待测样品的相位延迟值