[发明专利]一种高温化学气相沉积系统及设备

权利要求书

1.一种高温化学气相沉积系统，其特征在于：包括绝缘加热桶(1)和固定设置在其底部的底箱(2)，所述绝缘加热桶(1)内壁设置有发热件(3)，所述发热件(3)能够产生2000℃以上的发热温度；

所述底箱(2)内转动设置有贯穿所述绝缘加热桶(1)底部的伸缩装置(4)，所述底箱(2)内还设置有驱动所述伸缩装置(4)转动的旋转装置(5)以及与所述绝缘加热桶(1)连通的通风组件(7)，所述通风组件(7)可产生气流并可通入到所述绝缘加热桶(1)内，所述伸缩装置(4)的顶部固定设置有沉积台(6)，所述沉积台(6)上密布有若干通孔(61)。

2.如权利要求1所述的一种高温化学气相沉积系统，其特征在于：所述发热件(3)为发热线圈并设有多个，且多个所述发热件(3)均匀、等距、环绕布置在所述绝缘加热桶(1)内壁上。

3.如权利要求1所述的一种高温化学气相沉积系统，其特征在于：所述伸缩装置(4)为气缸或液压缸或电推杆，且所述伸缩装置(4)的输出轴上设置有热辐射防护件。

4.如权利要求3所述的一种高温化学气相沉积系统，其特征在于：所述旋转装置(5)包括固定连接在所述底箱(2)内底面上的支架(51)和电机(52)，所述伸缩装置(4)贯穿所述支架(51)并与其转动连接，所述电机(52)的输出端贯穿所述支架(51)且固定连接有第一齿轮(53)，所述伸缩装置(4)上固定连接有与所述第一齿轮(53)啮合的第二齿轮(54)。

5.如权利要求1所述的一种高温化学气相沉积系统，其特征在于：所述通风组件(7)包括固定连接在所述底箱(2)内底面上的蓄风箱(71)和与其连通的出风管(73)，所述蓄风箱(71)为密闭的箱体且其内设置有风机(72)，所述出风管(73)上相对设置有两个连通的进风管(74)，两个所述进风管(74)均与所述绝缘加热桶(1)连通。

6.如权利要求2所述的一种高温化学气相沉积系统，其特征在于：每个所述发热件(3)均通过若干个发热紧固件(8)固定在所述绝缘加热桶(1)内壁上。

7.如权利要求2所述的一种高温化学气相沉积系统，其特征在于：所述绝缘加热桶(1)内壁上开设有若干个等距、均匀、环绕的安装槽(13)，每个所述发热件(3)对应设置在每个所述安装槽(13)内。

8.如权利要求1所述的一种高温化学气相沉积系统，其特征在于：所述绝缘加热桶(1)外壁上设置有显示屏(11)以及与其连接的按键(12)。

9.一种高温化学气相沉积设备，其特征在于：所述设备包括被加热件，以及如权利要求1-8中任一项所述的一种高温化学气相沉积系统。