[发明专利]透射电镜微栅操作系统在审
申请号: | 202011548325.5 | 申请日: | 2020-12-24 |
公开(公告)号: | CN112768329A | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 严群芳 | 申请(专利权)人: | 严群芳 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 北京君恒知识产权代理有限公司 11466 | 代理人: | 张林 |
地址: | 744600 甘肃省*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透射 电镜微栅 操作系统 | ||
1.透射电镜微栅操作系统,包括微栅夹紧机构(1)、微栅定位机构(2)、旋转翻面机构(3)、水平伸缩机构(4)、水平转动机构(5)、高度微调机构(6)、固定底座机构(7)和水平调节机构(8),所述的两个水平调节机构(8)均连接在固定底座机构(7)上,高度微调机构(6)连接在固定底座机构(7)上,水平转动机构(5)连接在高度微调机构(6)上,水平伸缩机构(4)连接在水平转动机构(5)上,旋转翻面机构(3)连接在水平伸缩机构(4)上,微栅定位机构(2)连接在旋转翻面机构(3)上,两个微栅夹紧机构(1)均连接在微栅定位机构(2)和旋转翻面机构(3)上。
2.根据权利要求1所述的透射电镜微栅操作系统,其特征在于:所述的微栅夹紧机构(1)包括夹紧横梁(1-1)、夹紧滑杆(1-2)、弧形贴合板(1-3)和缓冲拉簧(1-4),弧形贴合板(1-3)固定连接在夹紧滑杆(1-2)上,夹紧滑杆(1-2)滑动连接在夹紧横梁(1-1)上,夹紧横梁(1-1)与夹紧滑杆(1-2)之间固定连接有缓冲拉簧(1-4),两个弧形贴合板(1-3)对称设置。
3.根据权利要求2所述的透射电镜微栅操作系统,其特征在于:所述的微栅定位机构(2)包括放置圆环(2-1)、转动支臂(2-2)、双向丝杆(2-3)和螺纹管套(2-4),两个螺纹管套(2-4)均螺纹连接在双向丝杆(2-3)上,双向丝杆(2-3)转动连接在转动支臂(2-2)上,转动支臂(2-2)固定连接在放置圆环(2-1),两个夹紧横梁(1-1)分别固定连接在两个螺纹管套(2-4)上,两个弧形贴合板(1-3)底面均贴合在放置圆环(2-1)上。
4.根据权利要求3所述的透射电镜微栅操作系统,其特征在于:所述的旋转翻面机构(3)包括安装块(3-1)、翻面轴(3-2)、竖直齿环(3-3)、限位滑道(3-4)、竖直齿轮(3-5)和竖直电机(3-6),竖直齿轮(3-5)固定连接在竖直电机(3-6)的输出轴上,竖直电机(3-6)固定连接在安装块(3-1)上,翻面轴(3-2)转动连接在安装块(3-1)上,竖直齿环(3-3)固定连接在翻面轴(3-2)上,限位滑道(3-4)固定连接在翻面轴(3-2)上,竖直齿环(3-3)与竖直齿轮(3-5)啮合传动,放置圆环(2-1)固定连接在限位滑道(3-4)上,两个夹紧横梁(1-1)均滑动连接在限位滑道(3-4)中。
5.根据权利要求4所述的透射电镜微栅操作系统,其特征在于:所述的水平伸缩机构(4)包括伸缩滑道(4-1)、T型齿条(4-2)、止挡板(4-3)、一号齿轮(4-4)和一号电机(4-5),一号电机(4-5)固定连接在伸缩滑道(4-1)上,T型齿条(4-2)滑动连接在伸缩滑道(4-1)中,止挡板(4-3)固定连接在T型齿条(4-2)上,一号齿轮(4-4)固定连接在一号电机(4-5)的输出轴上,一号齿轮(4-4)与T型齿条(4-2)啮合传动,安装块(3-1)固定连接在T型齿条(4-2)上。
6.根据权利要求5所述的透射电镜微栅操作系统,其特征在于:所述的水平转动机构(5)包括升降力臂(5-1)、旋转轴(5-2)、水平板(5-3)、水平齿环(5-4)、水平齿轮(5-5)和水平电机(5-6),水平电机(5-6)固定连接在升降力臂(5-1)上,水平齿轮(5-5)固定连接在水平电机(5-6)的输出轴上,旋转轴(5-2)转动连接在升降力臂(5-1)上,水平齿环(5-4)固定连接在旋转轴(5-2)上,水平板(5-3)固定连接在旋转轴(5-2)上,水平齿轮(5-5)与水平齿环(5-4)啮合传动,伸缩滑道(4-1)固定连接在水平板(5-3)上。
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