[发明专利]由表雄酮合成的树脂单体及其制备方法

说明书

本发明属于光刻胶树脂单体，公开了一种由表雄酮合成的树脂单体，树脂单体的结构式如下：其中R₁为连接键、烃基或杂烃基，R₂为烃基；R₃为氢原子、烃基或杂烃基。其制备方法为，表雄酮Ⅰ经酯化反应得到中间体Ⅱ；所述中间体Ⅱ在酸催化条件下与羟基羧酸类化合物经缩醛反应得到树脂单体Ⅲ。本发明的中半缩醛结构与酯基结构相连，使形成的光刻胶具有良好临界尺寸均一性。

技术领域

本发明涉及光刻胶树脂单体领域，特别涉及一种由表雄酮合成的树脂单体及其制备方法。

背景技术

光刻材料(特指光刻胶)，又称光致抗蚀剂，是光刻技术中涉及的最关键的功能性化学材料，主要成分是树脂、光致产酸剂、以及相应的添加剂和溶剂，这类材料具有光(包括可见光、紫外线、电子束等)化学敏感性，经光化学反应，本身在显影液中的溶解性发生变化。

树脂是由多种树脂单体聚合而成的聚合物，其中不同的树脂单体是具有不同的功能，树脂单体为线性聚合物。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种由表雄酮合成的树脂单体及其制备方法。

为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案：

本发明一种由表雄酮合成的树脂单体，所述树脂单体结构通式如下：

其中，R₁为连接键、烃基或杂烃基，R₂为烃基，R₃为氢原子、烃基或杂烃基。

作为本发明的一种优选技术方案，所述树脂单体包括以下结构：

上述树脂单体的制备方法，包括以下合成路线

其中，R₁为连接键、烃基或杂烃基，R₂为烃基，R₃为氢原子、烃基或杂烃基；

合成步骤为：

S1，表雄酮Ⅰ与甲基丙烯酰氯或甲基丙烯酸类化合物经酯化反应得到中间体Ⅱ；

S2，所述中间体Ⅱ在酸催化条件下与羟基羧酸类化合物经缩醛反应得到树脂单体Ⅲ；所述羟基羧酸类化合物的结构为：

作为本发明的一种优选技术方案，S2中，所述酸为对甲苯磺酸吡啶盐。

作为本发明的一种优选技术方案，S2中，所述羟基羧酸类化合物包括DL-苹果酸、2-(2-甲基丙-2-烯酰氧基)乙酸、3-羟丙酸、3-羟基丁二酸甲酯或3-羟基戊酸。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

(1)树脂单体中半缩醛结构与酯基结构相连，使形成的光刻胶具有良好临界尺寸均一性。

(2)表雄酮的环状结构在很大程度上增加了光刻胶耐刻蚀性，树脂单体的多酯基结构也增加了其在脂溶性溶剂中的溶解性，方便旋涂均匀。

(3)本发明的合成路线简单，操作方便。

具体实施方式

应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。

实施例1

化合物1-2的制备：