[发明专利]一种质谱仪器极片清洗装置及清洗质谱仪器极片的方法

权利要求书

1.一种清洗质谱仪器极片的方法，采用质谱仪器极片清洗装置对质谱仪器极片进行清洗；

所述质谱仪器极片清洗装置包括载气输入管，辅助气输入管，固定件，内管，中管，外管，固态微波源，微波传输线，耦合环，开口端，反射功率调节环，矩管和微波组件；

所述矩管包括由内向外嵌套设置的内管、中管和外管；所述内管、中管和外管为同轴结构；所述中管一端的管壁上设有开口；

所述质谱仪器极片清洗装置包括微波组件；所述微波组件包括电连接的固态微波源和耦合环；所述固态微波源设置于矩管的上方；所述耦合环设置于所述中管上的开口处；所述固态微波源的微波频率为2.45GHz；

所述矩管靠近微波组件的一端的管口为开口端；所述固态微波源上设有反射功率检测仪；

所述外管上与所述耦合环对应的位置设置开口，所述耦合环通过微波传输线穿过所述开口与固态微波源连接；所述矩管未设置耦合环的一端设有调谐件，所述调谐件包括固定件和反射功率调节环；所述反射功率调节环套于所述中管的外壁上，所述固定件设置于所述反射功率调节环的外侧，支撑所述外管；

所述内管远离微波组件的管口与载气输入管连接，所述中管远离微波组件的一端的管口与辅助气输入管连接；所述矩管的开口端与所述反射功率调节环的距离为1/4微波波长；

所述质谱仪器极片清洗装置还包括三维移动平台，三维移动平台位于远离微波组件的一端；

采用质谱仪器清洗极片装置对极片进行清洗时的操作为：开启三维移动平台，将质谱仪器清洗极片装置移动至固定并调整好位置在离子源腔体内的极片正下方位置，内管和中管开始通入纯度为99.999％的氩气，固态微波源开启，在开口端形成等离子炬焰，对极片进行清洗，等离子炬焰与质谱仪器极片的距离d为0.5～1cm，将离子源极片中的离子束孔周围的区域加热到80～250℃并保持3分钟的时间。