[发明专利]一种微流控芯片及其制作方法

权利要求书

1.一种微流控芯片，其特征在于，包括：

施压层，包括通气孔和通气槽，所述通气孔用于通入气体至所述通气槽，所述通气槽内基于通入的气体产生气压；

捕获层，包括捕获通道，所述捕获通道用于通入多个待施压样品；

形变层，设于所述施压层和所述捕获层之间，用于根据所述气压产生形变，以对所述捕获层中的多个待施压样品施加机械力。

2.如权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，所述捕获通道包括第一细胞入口和第一细胞出口，所述形变层包括第二细胞入口和第二细胞出口，所述施压层包括第三细胞入口和第三细胞出口；

所述第一细胞入口、所述第二细胞入口和所述第三细胞入口对齐设置；

所述第一细胞出口、所述第二细胞出口和所述第三细胞出口对齐设置。

3.如权利要求2所述的微流控芯片，其特征在于，所述捕获通道还包括捕获区域，所述捕获区域包括多个微型捕获结构组成的捕获阵列。

4.如权利要求3所述的微流控芯片，其特征在于，一个所述微型捕获结构捕获一个所述待施压样品。

5.如权利要求4所述的微流控芯片，其特征在于，所述微型捕获结构的形状为U型或半圆形，所述微型捕获结构的底端设有开孔。

6.如权利要求3所述的微流控芯片，其特征在于，所述第一细胞入口和所述捕获区域之间还设有分流区域，所述分流区域包括多个分流通道，所述分流通道用于将所述多个待施压样品分散成单个样品。

7.如权利要求6所述的微流控芯片，其特征在于，所述捕获通道还包括多个细胞球挡板，所述多个细胞球挡板设于所述捕获通道的边缘。

8.如权利要求7所述的微流控芯片，其特征在于，所述第一细胞入口、所述分流区域和所述第一细胞出口的高度均大于所述待施压样品的直径；所述微型捕获结构和所述细胞球挡板的高度均大于所述待施压样品的半径，且小于所述待施压样品的直径。

9.一种微流控芯片的制作方法，其特征在于，包括：

提供捕获层，所述捕获层包括捕获通道，所述捕获通道用于通入多个待施压样品；

在所述捕获层上键合形变层，所述形变层能够产生形变以对所述捕获层中的多个待施压样品施加机械力；

在所述形变层上键合施压层，所述施压层包括通气孔和通气槽，所述通气孔用于通入气体至所述通气槽，所述通气槽内基于通入的气体产生气压以使所述形变层产生形变。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，提供捕获层包括：

在基底硅片上形成第一光刻胶层；

在所述第一光刻胶层上覆盖第一掩膜版后进行光刻，得到捕获层模具第一层；

在所述捕获层模具第一层上形成第二光刻胶层；

在所述第二光刻胶层上覆盖第二掩膜版后进行光刻，得到捕获层模具第二层；

使用PDMS材料对捕获层模具进行倒模，得到捕获层，其中，所述捕获层模具包括所述捕获层模具第一层和所述捕获层模具第二层。