[发明专利]一种等间距调节模组

权利要求书

1.一种等间距调节模组，其特征在于，包括电机、主动带轮、从动带轮、同步带、滚珠丝杠组件，所述滚珠丝杠组件包括M个并列的滚珠丝杠单元，每个滚珠丝杠单元的下端固定从动带轮，所述电机连接主动带轮，所述同步带缠绕在所述主动带轮和从动带轮上，所述电机通过同步带带动所述滚珠丝杠单元；所述滚珠丝杆单元包括N个滚珠丝杠，且所述N个滚珠丝杠通过联轴器连接；所述滚珠丝杆连接执行器；M和N均为大于0的整数；

通过控制所述滚珠丝杠的导程以及正反转情况，使得执行器随着滚珠丝杠向上或者向下运动时保持间距相等。

2.根据权利要求1所述的一种等间距调节模组，其特征在于，所述执行器为M×N+1个，其中基准执行器的位置固定不动；其余M×N个执行器依次与所述滚珠丝杠连接。

3.根据权利要求2所述的一种等间距调节模组，其特征在于，所述滚珠丝杠包括左旋滚珠丝杆和右旋滚珠丝杆，所述左旋滚珠丝杆和右旋滚珠丝杆分别带动所述执行器向上运动和向下运动。

4.根据权利要求3所述的一种等间距调节模组，其特征在于，所述左旋滚珠丝杠包括一个基准左旋滚珠丝杠，其余左旋滚珠丝杠的导程分别为基准左旋滚珠丝杠的n倍，且所有左旋滚珠丝杠的导程均不相同；

所述右旋滚珠丝杠包括一个基准右旋滚珠丝杠，其余右旋滚珠丝杠的导程分别为基准右旋滚珠丝杠的n倍，且所有右旋滚珠丝杠的导程均不相同；n为整数。

5.根据权利要求4所述的一种等间距调节模组，其特征在于，所述左旋滚珠丝杠连接的执行器位于所述基准执行器的上方；且导程越大的左旋滚珠丝杠连接的执行器的位置越靠上。

6.根据权利要求4所述的一种等间距调节模组，其特征在于，所述右旋滚珠丝杠连接的执行器位于所述基准执行器的下方；且导程越大的左旋滚珠丝杠连接的执行器的位置越靠下。

7.根据权利要求4所述的一种等间距调节模组，其特征在于，所述滚珠丝杠单元为两个，每个滚珠丝杠单元中包括两个滚珠丝杠，所述执行器为五个；其中，四个滚珠丝杠中包括导程为1的基准左旋滚珠丝杠、导程为2的左旋滚珠丝杠、导程为1的基准右旋滚珠丝杠、导程为2的右旋滚珠丝杠。

8.根据权利要求7所述的一种等间距调节模组，其特征在于，其中一个滚珠丝杠单元包括导程为1的基准左旋滚珠丝杠和导程为2的右旋滚珠丝杠，且导程为2的右旋滚珠丝杠位于导程为1的基准左旋滚珠丝杠的上方；

另外一个滚珠丝杠单元包括导程为1的基准右旋滚珠丝杠和导程为2的左旋滚珠丝杠，且导程为1的基准右旋滚珠丝杠位于导程为2的左旋滚珠丝杠的上方。

9.根据权利要求1所述的一种等间距调节模组，其特征在于，所述执行器为用于装载晶圆的末端执行器，所述末端执行器包括固定手部和晶圆搭载部，所述固定手部固定在所述滚珠丝杠上，所述晶圆搭载部固定连接在所述固定手部上，且所述晶圆搭载部上包括晶圆接触点。

10.根据权利要求9所述的一种等间距调节模组，其特征在于，所述晶圆接触点分布在所述晶圆搭载部的四周，当晶搭载在所述晶圆搭载部时，所述晶圆接触点与晶圆接触。