[发明专利]一种用于蒸发镀膜工艺的圆片固定装置

权利要求书

1.一种用于蒸发镀膜工艺的圆片固定装置，其特征在于，包括连接转盘(1)，所述连接转盘(1)设有两个，两个所述连接转盘(1)之间固定连接有一号连接杆(3)，两个所述一号连接杆(3)相对等距开凿设有若干一号插槽(2)，两个所述连接转盘(1)的外壁之间连接有若干连接板(4)，所述连接板(4)的上下两端均固定连接有挂板(9)，所述连接板(4)等距开凿设有若干一号插孔(5)，所述一号插孔(5)连接有夹具(6)，所述夹具(6)包括夹板(17)，所述夹板(17)的一侧固定连接有一号插块(7)，所述夹板(17)通过一号插块(7)与一号插孔(5)插接，所述夹板(17)远离一号插块(7)的一侧开凿设有一号滑槽(18)，所述一号滑槽(18)的内部滑动连接有滑块(19)，所述滑块(19)的顶部固定连接有二号连接杆(21)，所述二号连接杆(21)的顶部固定连接有连接块(22)，所述连接块(22)的内部开凿设有二号滑槽(23)，所述连接块(22)的两端开凿设有五号插孔(25)，所述五号插孔(25)的内部插设有推杆(26)。

2.根据权利要求1所述的一种用于蒸发镀膜工艺的圆片固定装置，其特征在于：所述挂板(9)远离连接板(4)的一端底部固定连接有二号插块(11)，所述连接板(4)通过挂板(9)和二号插块(11)与一号插槽(2)卡接。

3.根据权利要求1所述的一种用于蒸发镀膜工艺的圆片固定装置，其特征在于：所述挂板(9)靠近连接板(4)的一侧开凿设有三号插孔(10)，所述一号插块(7)相对三号插孔(10)的位置开凿设有二号插孔(8)，所述二号插孔(8)与三号插孔(10)之间插接有限位杆(12)。

4.根据权利要求1所述的一种用于蒸发镀膜工艺的圆片固定装置，其特征在于：所述连接板(4)位于相邻的两个一号插孔(5)之间开凿设有四号插孔(13)，所述四号插孔(13)的内部插设有滑杆(14)，所述滑杆(14)靠近限位杆(12)的一端固定连接有挤压块(15)，所述挤压块(15)与连接板(4)之间固定连接有一号弹簧(16)。

5.根据权利要求1所述的一种用于蒸发镀膜工艺的圆片固定装置，其特征在于：所述一号滑槽(18)的内部转动连接有双向丝杆(20)，所述双向丝杆(20)的两端分别与两个滑块(19)螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于蒸发镀膜工艺的圆片固定装置，其特征在于：两个所述推杆(26)位于二号滑槽(23)内部的一端固定连接有推板(28)，所述推板(28)与二号滑槽(23)滑动连接，同一所述二号滑槽(23)内的两个推板(28)之间固定连接有二号弹簧(24)。

7.根据权利要求6所述的一种用于蒸发镀膜工艺的圆片固定装置，其特征在于：所述推杆(26)位于连接块(22)外部的一端固定连接有橡胶垫(27)。