[发明专利]一种钛靶材与铝背板的装配方法有效
| 申请号： | 202011563446.7 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112846651B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钛靶材 背板 装配 方法 | ||
1.一种钛靶材与铝背板的装配方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
(1)对钛靶材以及铝背板进行预处理；所述钛靶材的预处理方法包括：对所述钛靶材的焊接面车削端面和斜面螺纹，所述端面和斜面螺纹的螺距为(0.4～0.5)*(0.1～0.2)；所述车削后焊接面的粗糙度Ra小于等于0.4μm；
(2)对表面处理后的所述钛靶材以及铝背板进行装配并焊接；
(3)对所述铝背板开设散热水道；所述散热水道包括至少一条环形水道和至少一条弯型水道；所述环形水道的半径为12～150mm，所述环形水道的深度为5～7mm；
(4)对装配后的钛靶材以及铝背板表面进行表面处理；所述表面处理包括喷砂处理和抛光处理；所述喷砂处理的喷砂粗糙度Ra为6～8μm；所述水道内喷砂处理的喷砂粗糙度Ra为1～3μm；所述抛光处理后所述铝背板外圆面以及本版面的粗糙度Ra≤1.6μm；所述抛光处理后所述铝背板密封处的粗糙度Ra≤0.8μm。
2.根据权利要求1所述的装配方法，其特征在于，所述钛靶材的预处理方法还包括：对所述钛靶材的焊接面进行IPA液超声清洗并干燥。
3.根据权利要求2所述的装配方法，其特征在于，所述超声清洗的时间不低于10min。
4.根据权利要求2所述的装配方法，其特征在于，所述干燥为真空干燥，所述真空干燥的真空度不高于0.01Pa，时间不低于60min。
5.根据权利要求1所述的装配方法，其特征在于，所述钛靶材的晶粒≤100μm。
6.根据权利要求1所述的装配方法，其特征在于，所述铝背板的预处理方法包括：对所述铝背板的焊接面进行车削无螺纹加工，对所述铝背板的焊接面进行IPA液超声清洗并干燥。
7.根据权利要求6所述的装配方法，其特征在于，所述超声清洗的时间不低于10min。
8.根据权利要求6所述的装配方法，其特征在于，所述干燥为真空干燥，所述真空干燥的真空度不高于0.01Pa，时间不低于60min。
9.根据权利要求1所述的装配方法，其特征在于，所述焊接包括焊接前装配、包套焊接与脱气以及热等静压焊接。
10.根据权利要求9所述的装配方法，其特征在于，所述包套焊接采用氩弧焊。
11.根据权利要求9所述的装配方法，其特征在于，所述包套焊接后对所述包套进行抽真空，所述抽真空的真空度不高于0.001Pa。
12.根据权利要求11所述的装配方法，其特征在于，所述抽真空后进行氦泄漏检查以及脱气。
13.根据权利要求9所述的装配方法，其特征在于，所述脱气的温度为300～400℃，真空度不高于0.002Pa，时间为3～5h。
14.根据权利要求9所述的装配方法，其特征在于，所述热等静压焊接的温度为400～500℃。
15.根据权利要求9所述的装配方法，其特征在于，所述热等静压焊接的压力不低于105MPa。
16.根据权利要求9所述的装配方法，其特征在于，所述热等静压焊接的时间为5～8h。
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