[发明专利]有机膜形成材料、有机膜的形成方法、图案形成方法、以及化合物

权利要求书

1.一种有机膜形成材料，其特征为包含下列通式(1)表示的化合物及有机溶剂；

该通式(1)中，X为碳数2～50的n1价的有机基团，n1表示2～10的整数，R₁为下列通式(2)～(4)中的至少一者以上；

该通式(2)中，＊代表对于前述有机基团X的键结部位，R_a及R_b表示氢原子、或碳数1～10的直链或分支状的饱和或不饱和的烃基，R_c表示氢原子、甲基或苯基，m1及m2表示0或1的整数，n2及n3表示1～7的整数，符合1≤n2+n3≤7的关系，n4表示1～10的整数；

该通式(3)中，＊代表对于前述有机基团X的键结部位，R_d及R_e表示氢原子、或碳数1～10的直链或分支状的饱和或不饱和的烃基，R_f表示氢原子、甲基或苯基，m3及m4表示0或1的整数，n5及n6表示1～7的整数，符合1≤n5+n6≤7的关系；l1表示0或1，l1＝1时，氧原子作为醚键而形成芳香环间的桥联结构，l1＝0时，不存在成为芳香环间的桥联结构的醚键；

该通式(4)中，＊代表对于前述有机基团X的键结部位，R_g及R_h表示氢原子、或碳数1～10的直链或分支状的饱和或不饱和的烃基，m5及m6表示0或1的整数，n7及n8表示1～7的整数且符合1≤n7+n8≤7的关系；l2表示0或1，l2＝1时，氧原子作为醚键而形成芳香环间的桥联结构，l2＝0时，不存在成为芳香环间的桥联结构的醚键。

2.根据权利要求1所述的有机膜形成材料，其中，该通式(1)中的该有机基团X为下列通式(5)、(7)、(8)、(9)、(10)、(11)、(12)、(13)、(14)及(15)中的任意者；

该通式(5)中，m7及m8各自独立地表示0或1，W为单键或下列(6)所示结构中的任意者；R₁为前述R₁基团，且n9及n10各自独立地表示0至4的整数，n9+n10为1以上8以下；

该通式(6)中，n11表示0至3的整数，Ri、Rj、Rk、Rl、Rm及Rn互相独立地表示氢原子、或也可以经氟取代的碳数1～10的烷基或苯基，Ri与Rj也可键结而形成环状化合物；

该通式(7)中，R₁为前述R₁基团，Ro表示氢原子、甲基或苯基；

该通式(8)～(12)中，R₁为前述R₁基团，Rp、Rq、Rr、Rs、Rt、Ru及Rv各表示氢原子、碳数1～10的烷基、碳数2～10的炔基、碳数2～10的烯基、或在芳香环上也可以有取代基的苄基或苯基；Y表示前述R₁基团、氢原子、碳数1～10的烷基、碳数2～10的炔基、或碳数2～10的烯基，且式(12)中的4个Y中的至少二者为前述R₁基团；

R₁O-Rw-OR₁ (13)

该通式(13)中的Rw表示碳数1～20的直链、分支状、或环状的饱和或不饱和的烃基，该通式(14)中的Rx表示氢原子或碳数1～10的烷基；该通式(13)～(15)中的R₁为前述R₁基团。