[发明专利]半导体清洗设备中清洗液的温度控制方法及系统

权利要求书

1.一种半导体清洗设备中清洗液的温度控制系统，其特征在于，包括加热器和温度控制器；

所述加热器用于对所述清洗液进行加热；

所述温度控制器与所述加热器连接，用于：判断向所述半导体清洗设备的工艺腔室中输送清洗液的传输管路中是否有所述清洗液，以及判断所述加热器的温度是否超出预设范围；并在所述传输管路中具有所述清洗液，且所述加热器的温度没有超出所述预设范围时，控制所述加热器将所述清洗液的温度加热至设定值。

2.根据权利要求1所述的温度控制系统，其特征在于，所述温度控制系统还包括液位传感器和限控器，所述液位传感器用于检测所述半导体清洗设备的工艺腔室中输送清洗液的传输管路中的液位；

所述限控器用于检测所述加热器的温度；

所述温度控制器分别与所述液位传感器和所述限控器连接，用于获取所述液位传感器检测的液位数据和所述限控器检测的温度数据，并根据所述液位数据判断所述传输管路中是否有所述清洗液，以及根据所述温度数据判断所述加热器的温度是否超出预设范围。

3.根据权利要求2所述的温度控制系统，其特征在于，所述温度控制系统还包括第一通断开关和第二通断开关，所述第一通断开关分别与所述液位传感器和所述温度控制器连接；所述第二通断开关分别与所述限控器和所述加热器连接；且所述第一通断开关与第二通断开关串联；

所述液位传感器根据所述传输管路中存在液体的液位数据，生成第一电导通信号，所述第一电导通信号用于控制所述第一通断开关电导通；

所述限控器根据所述加热器的温度未超出所述预设范围的温度数据生成第二电导通信号，所述第二电导通信号用于控制所述第二通断开关电导通；

所述加热器基于所述第一通断开关和所述第二通断开关均导通，启动整流器，以使所述温度控制器通过控制所述整流器调整所述加热器的加热温度，将所述清洗液的温度加热至设定值。

4.根据权利要求3所述的温度控制系统，其特征在于，所述第一通断开关包括第一触点和第一磁线圈，所述第一触点为常开触点；所述第二通断开关包括第二磁线圈和第二触点，所述第二触点为常开触点；所述第一触点和所述第二触点串联；

所述液位传感器向所述第一磁线圈发送所述第一电导通信号，触发所述第一磁线圈产生磁场，驱动所述第一触点闭合，使所述第一通断开关导通；

所述限控器向所述第二磁线圈发送所述第二电导通信号，触发所述第二磁线圈产生磁场，驱动所述第二触点闭合，使所述第二通断开关导通。

5.根据权利要求3所述的温度控制系统，其特征在于，所述温度控制系统还包括第三通断开关和第四通断开关；

所述第三通断开关与所述温度控制器连接，并与所述第一通断开关和所述第二通断开关串联；所述第三通断开关导通用于控制所述加热器电导通，所述第四通断开关导通用于控制所述整流器电导通；

所述温度控制器在所述第一通断开关和所述第二通断开关均导通时，所述温度控制器向所述第三通断开关发送第三电导通信号，控制第三通断开关导通；

所述加热器电导通时，所述加热器向所述第四通断开关发送第四电导通信号，控制所述第四通断开关导通。

6.根据权利要求5所述的温度控制系统，其特征在于，所述第三通断开关包括第三磁线圈和第三触点，所述第三触点为常开触点；所述第四通断开关包括第四磁线圈和第四触点，所述第四触点为常开触点；

所述温度控制器在所述第一通断开关和所述第二通断开关均导通时，生成所述第三电导通信号；并将所述第三电导通信号提供给所述第三磁线圈，触发所述第三磁线圈产生磁场，驱动所述第三触点闭合，使所述第三通断开关导通；

所述加热器在所述第三通断开关导通时电导通，并向所述第四磁线圈发送第四电导通信号，触发所述第四磁线圈产生磁场，驱动所述第四触点闭合，使所述第四通断开关导通。