[发明专利]一种均温板制作方法及均温板在审
申请号: | 202011565364.6 | 申请日: | 2020-12-25 |
公开(公告)号: | CN112795910A | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 陈晓杰;徐莎莎;石一卉 | 申请(专利权)人: | 瑞声科技(南京)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | C23C22/42 | 分类号: | C23C22/42;C23C22/17;C23C22/78;H05K7/20 |
代理公司: | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人: | 赵胜宝 |
地址: | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 均温板 制作方法 | ||
1.一种均温板制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:
盖板获取步骤:获取由钢片制成的第一盖板和第二盖板;
盖板钝化步骤:将所述第一盖板和/或所述第二盖板置于钝化液中进行钝化处理,得到表面附有钝化膜结构的第一盖板和/或所述第二盖板,所述钝化液包括浓度为3~15g/L的过渡金属化合物、0~20g/L的磷酸/磷酸钠、0~10ml/L的硝酸、0~8g/L的植酸/植酸钠、0~7g/L的酒石酸/酒石酸钾钠、0~5g/L的柠檬酸/柠檬酸钠和0.5~5g/L的表面活性剂;
毛细结构获取步骤:在所述第一盖板的钝化膜表面或所述第二盖板的钝化膜表面设置毛细结构;
盖板固定步骤:将所述第一盖板与所述第二盖板盖合并固定连接,以形成封闭内腔,所述毛细结构收容于所述封闭内腔中,所述封闭内腔中填充有冷却介质。
2.如权利要求1所述的均温板制作方法,其特征在于,所述第一盖板和所述第二盖板为由厚度在0.05~0.4mm之间的钢片制成。
3.如权利要求1所述的均温板制作方法,其特征在于,所述过渡金属化合物包括硫酸锌、钼酸钠、钨酸钠中的至少一种。
4.如权利要求1所述的均温板制作方法,其特征在于,所述表面活性剂为非离子型表面活性剂,包括聚乙烯醇、烷基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪酸甲酯乙氧基化物、聚乙二醇400~2000中的至少一种。
5.如权利要求1所述的均温板制作方法,其特征在于,所述钝化液中还包括0.01~5g/L的稀土化合物,所述稀土化合物为铈盐、镧盐、镨盐、钕盐中的至少一种。
6.如权利要求1所述的均温板制作方法,其特征在于,所述盖板钝化步骤中所述钝化液的溶液温度为40~60℃,钝化处理时间为5~30min。
7.如权利要求1所述的均温板制作方法,其特征在于,所述盖板钝化步骤之后还包括:将钝化处理后的所述第一盖板和/或所述第二盖板在80℃-100℃的温度下干燥处理5min-15min。
8.如权利要求1所述的均温板制作方法,其特征在于,所述盖板钝化步骤之前还包括:
对所述第一盖板和/或所述第二盖板进行除油处理、酸洗处理以及活化处理中的一种或多种处理。
9.如权利要求8所述的均温板制作方法,其特征在于,所述除油处理具体包括:
将所述第一盖板和/或所述第二盖板置于温度为70~80℃的除油溶液中浸泡20-30min,所述除油溶液包括浓度为10~50g/L的氢氧化钠、10~50g/L的碳酸钠、1~5ml/L的OP乳化剂,而后用纯水清洗干净。
10.如权利要求8所述的均温板制作方法,其特征在于,所述酸洗处理具体包括:
将所述第一盖板和/或所述第二盖板置于温度为20~40℃的酸洗溶液中浸泡1~2min,所述酸洗溶液包括体积分数为20~30%的盐酸和浓度为3~5g/L的若丁,而后用纯水清洗干净。
11.如权利要求8所述的均温板制作方法,其特征在于,所述活化处理具体包括:
将所述第一盖板和/或所述第二盖板置于15℃-30℃的活化溶液中浸泡0.5~1min,所述活化溶液包括体积分数为10~20%盐酸和浓度为5~10g/L乙酸,取出后用纯水冲洗。
12.一种均温板,其特征在于,所述均温板由权利要求1-11任一项所述的均温板制作方法制作形成。
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