[发明专利]一种铝靶材的加工方法有效
| 申请号： | 202011566328.1 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112775845B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/00 | 分类号： | B24C1/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铝靶材 加工 方法 | ||
1.一种铝靶材的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括：对焊接后的铝靶材以及铝背板加工O型密封圈槽，并对喷砂区域进行喷砂处理；
所述O型密封圈槽的深度为4.09～4.15mm；
所述O型密封圈槽的宽度为4.867～4.969mm。
2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述O型密封圈槽的外侧角为63～65°。
3.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述O型密封圈槽的内侧角为66～68°。
4.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述O型密封圈槽的外上半径为0.173～0.427mm。
5.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述O型密封圈槽的内上半径为0.073～0.327mm。
6.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述O型密封圈槽的下部半径为0.792～0.919mm。
7.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述O型密封圈槽的一侧台阶深度为0.250～0.270mm。
8.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述O型密封圈槽加工后对喷砂区域贴覆电工胶带，并对所述电工胶带进行车削加工。
9.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述喷砂处理的原料包括白刚玉。
10.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述喷砂处理的喷砂枪与喷砂区域的距离为80～100mm。
11.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述喷砂处理的空气压力为5.5～6kg。
12.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述喷砂处理的时间为2～4min。
13.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述喷砂处理由所述铝靶材一角呈平面性扫描使粗糙度分布均匀。
14.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述喷砂处理后的喷砂区域的粗糙度Ra为3～5μm。
15.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述O型密封圈槽的外侧角为63～65°，内侧角为66～68°，外上半径为0.173～0.427mm，内上半径为0.073～0.327mm，下部半径为0.792～0.919mm，一侧台阶深度为0.250～0.270mm；
所述喷砂处理的原料包括白刚玉，喷砂枪与喷砂区域的距离为80～100mm，空气压力为5.5～6kg，时间为2～4min，所述喷砂处理由所述铝靶材一角呈平面性扫描使粗糙度分布均匀。
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