[发明专利]一种纳米材料真空镀膜机

说明书

一种纳米材料真空镀膜机；包括中座板、中框架、真空罐、真空计、排气装置、电动调节杆、蒸发电极、待镀金属、旋转室、步进电机、传动组、座盘、夹持装置、镀件、纳米液剂箱、纳米液剂入料口、粗滤网、精滤网、增压泵、纳米液剂导流管、喷头、真空管A、真空管B、扩散泵、电热丝、加热器、真空管C、真空管D、真空泵、真空阀、机脚；其特征在于：还包括镀件探测器、超声波成像厚度分析仪、显示器；所述镀件探测器由超声波发射器、超声波接收器、N形板组成；能处理、分析、显示镀件在线镀层的厚度状态，以供操作人员精准的操作控制该机器的真空参数、工作时间，达到提高工作效率，掌握镀件产品镀层质量，提高镀件镀层产品质量的目的。

技术领域

本发明涉及一种镀膜技术及设备，尤其是一种纳米材料真空镀膜机。

背景技术

纳米真空镀膜机,能在金、银、钨、钴、钯等不同贵金属表面形成2-10nm厚度左右的镀层，从而使金属表面具有良好的耐磨性、导电性能、耐腐蚀、耐高温、防氧化及改变表面张力等特性，从而提升材料性能，可以全面的改善产品的性能及品质；但是现有的纳米材料真空镀膜机在使用过程中还存在着一些问题：其中有对真空状态的掌握不准确造成镀件产品质量不稳定问题；不能连续性生产，需要将罩体反复打开，生产效率低问题；特别是对镀膜厚度掌握不准，完全靠经验掌握时间、温度、真空度、电压等参数，进行控制操作；因此有待进一步研发性能更好、更稳定的纳米材料真空镀膜机。

发明内容

本发明提供一种纳米材料真空镀膜机，能解决上述背景技术中提出的的问题。

本发明解决其技术问题的技术方案是：本发明包括中座板、中框架、真空罐、真空计、排气装置、电动调节杆、蒸发电极、待镀金属、旋转室、步进电机、传动组、座盘、夹持装置、镀件、纳米液剂箱、纳米液剂入料口、粗滤网、精滤网、增压泵、纳米液剂导流管、喷头、真空管A、真空管B、扩散泵、电热丝、加热器、真空管C、真空管D、真空泵、真空阀、机脚；其特征在于：还包括镀件探测器、超声波成像厚度分析仪、显示器、多股电缆。

所述镀件探测器、超声波成像厚度分析仪、显示器的作用在于：镀件探测器向镀件发送超声波，接收从镀件反射的超声波给超声波成像厚度分析仪处理分析成图像信号给显示器显示镀件在线镀层的厚度状态，以供操作人员精准的操作控制该机器的真空参数、工作时间，达到提高工作效率，掌握镀件产品镀层质量，提高镀件镀层产品质量的目的，并且能够根据需要准确的设置控制镀件产品的纳米镀层厚度。

所述镀件探测器装置在真空罐内壁，由多股电缆与超声波成像厚度分析仪，超声波成像厚度分析仪上装置有显示器。

所述镀件探测器由超声波发射器、超声波接收器、N形板组成；所述镀件探测器的N形板的横板面上排列有2-10个超声波接收器；所述镀件探测器的N形板的两条竖面上分别竖列设置有2-8个个超声波发射器；所述镀件探测器的N形结构适用于大体积镀件的成像测厚。

所述真空计为U型真空计，能准确稳定掌握真空度，提高镀件生产质量。