[发明专利]纳米真空测厚镀膜机

权利要求书

1.纳米真空测厚镀膜机，本发明包括中座板(1)、中框架(2)、真空罐(3)、真空计(4)、排气装置(5)、电动调节杆(6)、蒸发电极(7)、待镀金属(8)、旋转室(9)、步进电机(10)、传动组(11)、座盘(12)、夹持装置(13)、镀件(14)、纳米液剂箱(15)、纳米液剂入料口(16)、粗滤网(17)、精滤网(18)、增压泵(19)、纳米液剂导流管(20)、喷头(21)、真空管A(22)、真空管B(23)、扩散泵(24)、电热丝(25)、加热器(26)、真空管C(27)、真空管D(28)、真空泵(29)、真空阀(33)、机脚(34)；其特征在于：还包括镀件探测器(30)、超声波成像厚度分析仪(31)、显示器(32)、多股电缆(35)；所述镀件探测器(30)装置在真空罐(3)内壁，由多股电缆(35)与超声波成像厚度分析仪(31)连接，超声波成像厚度分析仪(31)上装置有显示器(32)。

2.根据权利要求1所述的纳米真空测厚镀膜机，其特征在于：所述镀件探测器(30)由超声波发射器T1(301A)、超声波接收器T1(301B)、超声波发射器T2(302A)、超声波接收器T2(302B)、T形板(303)组成。

3.根据权利要求1或2所述的纳米真空测厚镀膜机，其特征在于：所述镀件探测器(30)的T形板(303)的横板面上排列有2-10个超声波发射器T1(301A)，在2-10个超声波发射器T1(301A)的上面配对有2-10个超声波接收器T1(301B)。

4.根据权利要求1或2所述的纳米真空测厚镀膜机，其特征在于：所述镀件探测器(30)的T形板(303)的竖面上竖列有2-8个超声波发射器T2(302A)，在2-8个超声波发射器T2(302A)的右边配对有2-8个竖列的超声波接收器T2(302B)。

5.根据权利要求1所述的纳米真空测厚镀膜机，其特征在于：所述镀件探测器(30)、超声波成像厚度分析仪(31)、显示器(32)的作用在于：镀件探测器(30)向镀件(14)发送超声波，接收从镀件(14)反射的超声波给超声波成像厚度分析仪(31)处理分析成图像信号给显示器显示镀件(14)在线镀层的厚度状态，以供操作人员精准的操作控制该机器的真空参数、工作时间，达到提高工作效率，掌握镀件(14)产品镀层质量，提高镀件(14)镀层产品质量的目的，并且能够根据需要准确的设置控制镀件(14)产品的纳米镀层厚度。

6.根据权利要求1所述的纳米真空测厚镀膜机，其特征在于：所述真空计(4)为U型真空计，能准确稳定掌握真空度，提高镀件生产质量。