[发明专利]一种高效异质结太阳能电池及制备方法

说明书

本发明公开了一种高效异质结太阳能电池及制备方法，所述制备方法是在常规异质结太阳能电池制备工序前增加一道吸杂工序，所述吸杂工序通过全链式工艺完成；所述全链式工艺包括：对硅片进行链式涂覆吸杂源；及链式高温吸杂。本发明的制备方法通过降低N型硅片的金属杂质含量，提高了高效异质结太阳能电池的转换效率；所制备的高效异质结太阳能电池的效率分布更集中，大大提高了产品一致性；降低了电池边缘漏电率，提高了电池良率；全链式吸杂工艺缩短了硅片在制程中的流转时间，减少了硅片受污染的概率，在一定程度上也提高了电池的转换效率，而且耗时短，能耗低，自动化程度高，利于产业化推广使用。

技术领域

本发明涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种高效异质结太阳能电池及制备方法。

背景技术

随着光伏行业的不断发展，高效率N型晶硅电池由于其高少子寿命和无光致衰减等天然优势，是高效电池技术路线的必然选择，也是光伏行业正在进入大规模生产的新一代电池技术。其中异质结太阳能电池由于其转换效率高，工序简单受到广泛关注。

由于异质结太阳能电池整个工艺过程中无传统电池中的高温扩散过程进行吸杂，因此将吸杂工序引入到异质结太阳能电池的制备流程中非常重要。然而目前行业中普遍使用的吸杂通常为类似传统工艺中的管式扩散过程，清洗后的硅片在高温管式设备中进行源的沉积和推进实现吸杂。采用这种方式吸杂，工艺流程繁琐，硅片每完成一个工序需要装卸片，耗时长，而且需要增加一台清洗设备和一台炉管设备，对应的每个设备需要增加上下料和搬运人工，导致电池制造成本很高。

发明内容

发明目的：本发明提出一种高效异质结太阳能电池的制备方法，能够缩短高效异质结太阳能电池的制程时间，简化工艺流程，提高异质结太阳能电池的转换效率。

本发明的另一个目的是提出一种通过上述方法所制备的高效异质结太阳能电池。

技术方案：本发明采用如下技术方案：

一种高效异质结太阳能电池的制备方法，在常规异质结太阳能电池制备工序前增加一道吸杂工序，所述吸杂工序通过全链式工艺完成；

所述全链式工艺包括：

对硅片进行链式涂覆吸杂源；

及链式高温热处理吸杂。

进一步地，所述吸杂源为液态源。

更进一步地，所述液态源可以为磷酸溶液、含磷浆料或含硼浆料中的一种。

进一步地，对所述硅片进行链式涂覆吸杂源之前还包括对所述硅片进行链式前清洗。

进一步地，所述链式前清洗包括碱液清洗。

更进一步地，所述碱液为质量百分比浓度1～3%的NaOH溶液或质量百分比浓度1～3%的KOH溶液。

更进一步地，所述碱液清洗后还包括对所述硅片进行酸液清洗。

更进一步地，所述酸液为质量百分比浓度1～10%的HF溶液。

进一步地，所述链式高温吸杂的温度为500～800℃，时间为2～20min。

进一步地，所述链式高温吸杂之后还包括对所述硅片进行链式后清洗。

更进一步地，所述链式后清洗为质量百分比浓度1～5%的HF溶液清洗。

具体地，一种高效异质结太阳能电池的制备方法，包括如下步骤：

（1）对N型硅片进行吸杂；

（2）将吸杂后的N型硅片进行制绒，制绒的同时去除硅片表面的吸杂层；

（3）在制绒后硅片的正背面沉积本征非晶硅层；