[发明专利]PERC太阳能电池选择性发射极、PERC太阳能电池及其制作方法在审
申请号: | 202011573167.9 | 申请日: | 2020-12-25 |
公开(公告)号: | CN112563347A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 眭山;何宇;王岚;李忠涌;苏荣;王璞;谢毅 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(成都)有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/0352;H01L31/18 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 唐菲 |
地址: | 610000 四川省成都市双流*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | perc 太阳能电池 选择性 发射极 及其 制作方法 | ||
一种PERC太阳能电池选择性发射极、PERC太阳能电池及其制作方法,属于太阳能电池领域。选择性发射极包括硅片以及第一轻掺杂区域、第二轻掺杂区域和激光重掺杂区域,激光重掺杂区域包括多个掺杂层,每个掺杂层包括多段间隔设置的掺杂区,第一轻掺杂区域位于每个掺杂层的掺杂区之间,每个第二轻掺杂区域位于相邻设置的两个掺杂层之间。PERC太阳能电池包括选择性发射极、在正面钝化层表面的正面减反层以及正电极。正电极包括在激光重掺杂区域表面的第一银浆层以及在正面减反层的对应第一轻掺杂区域的表面的第二银浆层,第二银浆层与第一银浆层电性接触。其能够减少激光对硅片的损伤,减少银浆区域复合,提升开压,并提升电池效率。
技术领域
本申请涉及太阳能电池领域,具体而言,涉及一种PERC太阳能电池选择性发射极、PERC太阳能电池及其制作方法。
背景技术
太阳能电池在制造过程中,使用激光掺杂技术可以在硅片表面形成具有重掺杂和轻掺杂区域的选择性发射极。但是利用激光掺杂的过程中由于激光急剧的热作用会对硅片产生损伤,激光作用处复合比较严重,影响电池开压,同时破坏了正面的绒面结构,减少电流的吸收,进而影响电池效率的提升。
发明内容
本申请提供了一种PERC太阳能电池选择性发射极、PERC太阳能电池及其制作方法,其能够减少激光对硅片的损伤,并提升电池效率。
本申请实施例是这样实现的:
第一方面,本申请实施例提供一种PERC太阳能电池选择性发射极,其包括:硅片以及在硅片正面的第一轻掺杂区域、第二轻掺杂区域和激光重掺杂区域,激光重掺杂区域包括沿预设方向间隔设置的多个掺杂层,每个掺杂层包括多段间隔设置的掺杂区,第一轻掺杂区域位于每个掺杂层的掺杂区之间,每个第二轻掺杂区域位于相邻设置的两个掺杂层之间。
第二方面,本申请实施例提供一种PERC太阳能电池,其包括第一方面实施例的PERC太阳能电池选择性发射极以及在第一轻掺杂区域和第二轻掺杂区域表面的正面钝化层、在正面钝化层表面的正面减反层和正电极;
正电极包括在激光重掺杂区域表面的第一银浆层以及在正面减反层的对应第一轻掺杂区域的表面的第二银浆层,第二银浆层与第一银浆层电性接触。
第三方面,本申请实施例提供一种第二方面实施例的PERC太阳能电池的制作方法,包括:
在制绒后的硅片表面进行扩散形成扩散层,对扩散层进行激光掺杂以形成激光重掺杂区域,未进行激光掺杂的扩散层为轻掺杂区域,轻掺杂区域包括第一轻掺杂区域和第二轻掺杂区域;
在激光重掺杂区域和轻掺杂区域表面依次镀正面钝化层和正面减反层;
在正面减反层的对应激光重掺杂区域的表面镀第一银浆层并烧穿正面减反层和正面钝化层,使得第一银浆层与激光重掺杂区域接触,在正面减反层的对应第一轻掺杂区域的表面镀第二银浆层,第二银浆层与第一银浆层电性接触。
本申请实施例的PERC太阳能电池选择性发射极、PERC太阳能电池及其制作方法的有益效果包括:
PERC太阳能电池的激光重掺杂区域是激光处理过的部分,第一轻掺杂区域和第二轻掺杂区域是未经激光处理过的部分,第一轻掺杂区域位于每个掺杂层的掺杂区之间,第一银浆层能够烧穿正面减反层和正面钝化层与激光重掺杂区域接触以形成良好的欧姆接触,第二银浆层不会烧穿正面减反层和正面钝化层从而形成于正面减反层的对应第一轻掺杂区域的表面,且第二银浆层与第一银浆层电性接触,起到连接导出电流的作用。相较于掺杂区为连续设置的方案,本申请实施例的激光掺杂的区域相对较小,能够减少激光对硅片的损伤,减少硅片的表面复合以及激光对绒面的破坏。当掺杂区为连续设置时,银浆层需要烧穿正面钝化层与硅片相接触,相较于银浆层全部与硅片相接触的方案,本申请实施例的第二银浆层只与第一银浆层接触,不与硅片接触,串联电阻较低。本申请实施例的PERC太阳能电池的激光重掺杂区域的设置方式以及第一银浆层和第二银浆层的设置方式,提升了电池效率效率。
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