[发明专利]一种离子源极片清洗装置

权利要求书

1.一种离子源极片清洗装置，用于清洗质谱仪的离子源极片，所述质谱仪包括壳体，所述壳体内开设有过渡腔，所述过渡腔内安装有所述离子源极片和活动地设置于所述过渡腔内的样品靶托，所述样品靶托具有与所述过渡腔连通的安装腔，所述安装腔用于安装样品；其特征在于，所述离子源极片清洗装置包括：

清洗靶，所述清洗靶包括靶座和清洗刷，所述靶座与所述样品靶托的尺寸适配，且用于安装于所述安装腔内，所述清洗刷设置于所述靶座，且至少部分伸出所述安装腔，且被配置为在所述样品靶托的带动下清洗所述离子源极片。

2.根据权利要求1所述的离子源极片清洗装置，其特征在于：

所述清洗刷包括多个阵列设置于所述靶座的刷头，且每个所述刷头均一端与所述靶座连接，另一端向远离所述靶座的方向延伸。

3.根据权利要求1所述的离子源极片清洗装置，其特征在于：

所述离子源极片清洗装置还包括驱动机构，所述驱动机构与所述样品靶托传动连接，用于驱动所述样品靶托在所述过渡腔内运动，以带动所述清洗靶对所述离子源极片进行清洗。

4.根据权利要求3所述的离子源极片清洗装置，其特征在于：

所述驱动机构包括第一驱动件、驱动座以及第二驱动件，所述第一驱动件沿第一方向延伸设置于所述过渡腔内，所述驱动座与所述第一驱动件传动连接，用于在所述第一驱动件的带动下沿所述第一方向运动，所述第二驱动件设置于所述驱动座，且沿与所述第一方向呈夹角的第二方向延伸设置，所述样品靶托与所述第二驱动件传动连接，用于在所述第二驱动件的带动下沿所述第二方向运动，以带动所述清洗靶沿所述第一方向或所述第二方向运动，以清洗所述离子源极片。

5.根据权利要求4所述的离子源极片清洗装置，其特征在于：

所述过渡腔上开设有能与外界连通的开口；

所述离子源极片清洗装置还包括升降机构，所述升降机构活动地设置于所述过渡腔内，且用于将所述样品靶托在所述驱动机构与所述开口之间往复递送，以在所述样品靶托位于所述开口位置处时，能进行所述清洗靶的更换和安装。

6.根据权利要求5所述的离子源极片清洗装置，其特征在于：

所述升降机构包括升降组件和升降台，所述升降组件与所述壳体的内侧壁固定连接，所述升降台与所述升降组件传动连接，用于在所述升降组件的带动下沿与所述第一方向和所述第二方向均呈夹角设置的第三方向移动，以带动所述升降台在靠近或远离所述开口的方向上运动。

7.根据权利要求6所述的离子源极片清洗装置，其特征在于：

所述升降台和所述样品靶托二者中的一者上设有限位凸起，所述升降台和所述样品靶托二者中的另一者上设有限位槽，所述限位凸起能与所述限位槽配合，以使所述升降台能从驱动机构处获取所述样品靶托，并将所述样品靶托递送至所述开口处；所述样品靶托下方还设有第一磁性件，所述驱动机构上方还设有第二磁性件，所述第二磁性件能与所述第一磁性件吸合，以从所述升降台处获取所述样品靶托，以使得所述驱动机构能将所述样品靶托递送至所述离子源极片处，通过所述清洗靶对所述离子源极片进行清洗。

8.根据权利要求6所述的离子源极片清洗装置，其特征在于：

所述驱动机构上还设有第一配合件，所述升降组件上设有第二配合件，所述第一配合件能与所述第二配合件配合，以驱动所述升降组件带动所述升降台沿所述第三方向运动。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的离子源极片清洗装置，其特征在于：

所述开口处还设有靶盖，所述靶盖的一端与所述壳体铰接，所述靶盖的另一端能远离或靠近所述壳体，以用于打开或关闭所述开口；且当所述样品靶托运动至所述开口处时，所述样品靶托的顶壁被配置为与所述开口处的内壁抵接，以隔断所述安装腔与所述过渡腔的通路。

10.根据权利要求9所述的离子源极片清洗装置，其特征在于：

所述开口贯穿开设于所述壳体的壁体，所述靶盖具有能伸入所述开口的配合部，当所述靶盖关闭所述开口时，所述配合部伸入所述开口，并与所述开口处的壁体抵接；且当所述样品靶托运动至所述开口处且所述靶盖关闭所述开口时，所述配合部与所述样品靶托之间能通过所述开口形成密闭的配合腔，以容置所述清洗靶从所述安装腔内伸出的所述清洗刷。