[发明专利]一种晶片夹具及其清洗方法

说明书

本发明公开了一种晶片夹具及清洗方法，包括如下步骤：第一步、硝酸溶液浸泡：将夹具放入浸泡池，倒入硝酸溶液进行浸泡；第二步、去离子水冲洗：将步骤S1中浸泡后的夹具上的硝酸溶液用去离子水冲洗；第三步、银铬剥离液浸泡：将步骤S2中冲洗后的夹具放入新的浸泡池，倒入银铬剥离液进行浸泡；第四步、去离子水冲洗：将步骤S3中浸泡后的夹具上的银铬剥离液冲洗掉；第五步、超声波清洗：步骤S4清洗后的夹具放入超声池内进行超声波清洗；第六步、脱水：将步骤S5中经过超声波清洗后的夹具用无水乙醇进行脱水处理，并进行冲洗300秒；第七步、烘烤：将步骤S6中脱水后的夹具放入80℃±10℃烘箱内烤30到60分钟，完成夹具清洗。

技术领域

本发明属于夹具清洗技术领域，具体涉及一种晶片夹具及其清洗方法。

背景技术

石英晶体谐振器是用压电石英(即水晶)制成的压电器件。谐振器质量与晶片表面洁净度与镀膜质量有直接关系。现使用的镀膜夹具清洗后表面特别是镀膜孔位附近任残留有银屑，残留银屑，会将晶片顶高影响晶片镀膜效果或者在晶片表面留下划痕。为保证成品质量，提高夹具的清洗效果，现需一种清洗装置与清洗方式对镀膜夹具进行有效的清洗。

发明内容

本发明的目的是解决上述问题，提供一种结构简单，操作方便，清洗效果好的晶片夹具及其清洗方法。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种晶片夹具的清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、硝酸溶液浸泡：将夹具放入浸泡池，倒入硝酸溶液进行浸泡；

S2、去离子水冲洗：将步骤S1中浸泡后的夹具上的硝酸溶液用去离子水冲洗，同时冲洗掉附着的物理杂质；

S3、银铬剥离液浸泡：将步骤S2中冲洗后的夹具放入新的浸泡池，倒入银铬剥离液进行浸泡；

S4、去离子水冲洗：将步骤S3中浸泡后的夹具上的银铬剥离液冲洗掉，同时冲洗掉附着的物理杂质；

S5、超声波清洗：步骤S4清洗后的夹具放入超声池内进行超声波清洗；

S6、脱水：将步骤S5中经过超声波清洗后的夹具用无水乙醇进行脱水处理，并进行冲洗300秒；

S7、烘烤：将步骤S6中脱水后的夹具放入80℃±10℃烘箱内烤30到60分钟，完成夹具清洗。

进一步地，所述步骤S1中倒入浸泡池内的硝酸溶液的高度大于夹具的高度，夹具浸入硝酸溶液中，单次浸泡时间15min，并去除表面银屑。

进一步地，所述步骤S2中的冲洗时长为300秒，冲洗使用的去离子水电阻要大于15MΩ。

进一步地，所述步骤S3中倒入浸泡池内溶液高度应保证夹具彻底浸入银铬剥离液中，将夹具表面的顽固银铬全部脱落干净，夹具单次浸泡时间15分钟。

进一步地，所述步骤S2和步骤S4中对用于清洗的去离子水进行实时监控，保证电阻大于15MΩ。

进一步地，所述步骤S5中在超声波清洗的时间为15分钟，重复超声波清洗过程3次，每次需更换超声池内的去离子水。

进一步地，所述夹具包括依次层叠的上盖板、上掩膜板、定位片、骨架、下掩膜板和下盖板，晶片位于骨架内，通过定位片进行固定定位，再通过上掩膜板和下掩膜板进行固定，上掩膜板的另一面与上盖板相连，下掩膜板的另一面与下盖板相连，完成对晶片的固定。

进一步地，所述上掩膜板和下掩膜板结构相同，上盖板和下盖板的结构相同。

本发明的有益效果是：本发明所提供的一种晶片夹具及其清洗方法，夹具结构简单，制造成本较低，一种晶片夹具的清洗方法操作方便，能够对晶片进行充分有效的清洗，清洗干净。

附图说明