[发明专利]一种消光光阑的制备方法、光学生物识别模组及电子设备在审
申请号: | 202011577627.5 | 申请日: | 2020-12-28 |
公开(公告)号: | CN112560788A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 姜桐;黄昊;姜洪霖;杨成龙 | 申请(专利权)人: | 上海菲戈恩微电子科技有限公司 |
主分类号: | G06K9/00 | 分类号: | G06K9/00;G06K9/20;G03F7/00;G02B5/20;G02B5/00 |
代理公司: | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 | 代理人: | 赵雷 |
地址: | 200000 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光阑 制备 方法 光学 生物 识别 模组 电子设备 | ||
本发明公开了一种消光光阑的制备方法、光学生物识别模组及电子设备,包括以下步骤:S01:取芯片基体;S02:涂布2层以上光刻胶覆盖在S01的芯片基体上,形成2层以上滤光膜图形;S03:形成消光光阑图形结构。本发明形成的消光光阑可以满足小尺寸光阑结构的需求。
技术领域
本发明属于电子领域,具体涉及一种消光光阑的制备方法、一种光学生物识别模组及一种电子设备。
背景技术
指纹识别器件光路结构的消杂光光阑用于阻挡可见光通过,目前消杂光光阑的制作包括以下步骤(如图1):
S01:取芯片基体;
S02:涂布黑色光刻胶(感光油墨)覆盖所述基体,光刻形成遮光膜层;
S03:形成如图2的消光光阑图形结构。
图2中,消光光阑2形成在芯片基体1上。
由于分辨率的限制,上述形成的消光光阑2图形尺寸h小于4um时,图形容易发生脱落导致光阑结构作用失效,不能满足小尺寸光阑结构的需求。
发明内容
针对上述缺陷,一方面,本发明提供一种消光光阑的制备方法,该方法形成的消光光阑可以满足小尺寸光阑结构的需求。
一种消光光阑的制造方法,包括以下步骤:
S01:取芯片基体;
S02:涂布2层以上光刻胶覆盖在S01的芯片基体上,形成2层以上滤光膜图形;
S03:形成消光光阑图形结构。
可选地,所述S02包括以下步骤:
S021:涂布蓝色光刻胶覆盖在的芯片基体上,形成第一层蓝色滤光膜图形。
S022:涂布红色光刻胶覆盖带蓝色滤光膜图形,形成第二层红色滤光膜图形。
可选地,所述S02包括以下步骤:
S021:涂布绿色光刻胶覆盖所述基体,形成第一层绿色滤光膜图形;
S022:涂布蓝色光刻胶覆盖带绿色滤光膜,形成第二层蓝色滤光膜图形;
S023:涂布红色光刻胶覆盖带绿色和蓝色滤光膜,形成第三层红色滤光膜图形。
可选地,所述涂布为旋转涂布。
一方面,本发明还提供一种光学生物识别模组。
一种光学生物识别模组,包括微透镜单元形成的微透镜阵列、光阑单元形成的光阑阵列和光信号采集单元形成的信号采集阵列,所述光阑阵列为上述的消光光阑。
可选地,所述光学生物识别模组还包括视场光阑。
可选地,所述光学生物识别模组还包括光学填充层。
一方面,本发明还提供一种电子设备。
一种电子设备,该电子设备包括显示屏和光学生物识别模组,所述光学生物识别模组为上述的光学生物识别模组。
与现有技术相比,本发明的有益效果在于:
本发明通过与现有技术的消光光阑的不同的制备方法,制备出的消光光阑可以满足小尺寸光阑结构。
本发明利用绿、蓝、红三色滤光膜的光谱特性,将三者滤光膜集成在一起,能够阻挡可见光,实现指纹识别器件光路结构的消杂光光阑作用。
附图说明
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