[发明专利]一种切片电池边缘钝化方法及设备有效
申请号: | 202011579262.X | 申请日: | 2020-12-28 |
公开(公告)号: | CN112701187B | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 柳伟;高纪凡 | 申请(专利权)人: | 天合光能股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0216;H01L21/02;H01L21/306 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 蔡悦 |
地址: | 213031 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 切片 电池 边缘 钝化 方法 设备 | ||
1.一种用于对切片电池的切割边缘进行钝化的方法,其特征在于,所述方法包括:
采用激光对太阳电池划片并裂片,得到多个电池切片;
对每一个电池切片,通过腐蚀溶液对所述电池切片的切割边缘进行刻蚀,其中所述腐蚀溶液是碱性腐蚀溶液、浓度为5%-50%,温度为25-80˚C,并且其中刻蚀进一步包括:
将所述切割边缘浸没在所述腐蚀溶液中,其中浸入深度不超过所述切割边缘第一根金属栅线到所述切割边缘的距离,其中所述切割边缘与所述腐蚀溶液接触的时间为2-5分钟,并且腐蚀深度为2-4μm;以及
通过两个或更多个排吹气管沿着被所述电池切片的正反两面向着所述切割边缘吹气,以抑制所述腐蚀溶液向上漫延;
对所述切割边缘进行清洗;以及
使用200-300˚C的热空气对所述电池切片进行烘干5-10分钟,使得在烘干过程中,所述切割边缘的硅与空气中的氧发生热氧化,生成一层氧化层,以对所述切割边缘进行钝化。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述碱性腐蚀溶液是KOH溶液或者TMAH溶液。
3.一种用于根据如权利要求1或2所述的方法对切片电池的切割边缘进行钝化的设备,其特征在于,所述设备包括:
容纳腐蚀溶液的腐蚀槽;
夹具,所述夹具被配置成夹持电池切片,并使所述电池切片的切割边缘浸没在所述腐蚀溶液中,其中浸入深度不超过切割边缘第一根金属栅线到切割边缘的距离;
两个或更多个排吹气管,用于沿着被所述夹具夹持的电池切片的正反两面向着所述切割边缘吹气,以抑制腐蚀溶液向上漫延;
清洗装置,用于对经腐蚀的切割边缘进行清洗;以及
热氧化装置,用于对所述电池切片进行烘干,使得在烘干过程中,所述切割边缘的硅与空气中的氧发生热氧化,生成一层氧化层,以对所述切割边缘进行钝化。
4. 如权利要求3所述的设备,其特征在于,所述设备还包括:
设置在所述腐蚀槽中的平行于所述腐蚀溶液的液面的一排多个滚轮,其中每一个滚轮具有5-20μm深度的沟槽,并且一部分浸入所述腐蚀溶液中,一部分外露,所述多个滚轮同向地以相同转动速度转动,并且
所述夹具被配置成:
将所述电池切片的切割边缘接触所述滚轮的外露部分的上沿并与所述滚轮垂直,并且所述夹具平行于所述腐蚀溶液的液面,与所述滚轮转动方向同向地运动,并且与所述滚轮的转动速度相匹配。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的