[发明专利]一种高纯钒靶坯的制备方法及利用其制得的高纯钒靶材在审
| 申请号： | 202011580420.3 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112779508A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;黄东长 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/18;C23C14/35;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 钒靶坯 制备 方法 利用 钒靶材 | ||
1.一种高纯钒靶坯的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：将钒铸锭依次进行锻造、退火、轧制以及再次退火，得到高纯钒靶坯；其中，所述再次退火的温度为450-550℃。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述钒铸锭中钒的质量百分比为99-99.99％，其余为不可避免的杂质。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述钒铸锭采用电子束、真空电弧重熔或真空感应熔炼中的任意一种方式进行熔炼，然后再浇注得到；
优选地，先将所述钒铸锭依据目标尺寸进行切割处理，再进行所述锻造处理；
优选地，所述切割采用卧式锯床进行。
4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，在所述锻造之前还包括预热处理，所述预热处理的温度为450-500℃。
5.根据权利要求1-4任一项所述的制备方法，其特征在于，所述锻造的总变形率为70-80％。
6.根据权利要求1-5任一项所述的制备方法，其特征在于，所述退火的温度为400-500℃；
优选地，所述退火的保温时间为60-120min；
优选地，在所述退火之后，采用空冷进行冷却，再进行所述轧制。
7.根据权利要求1-6任一项所述的制备方法，其特征在于，所述轧制控制每道次的下压量0.5-1mm；
优选地，所述轧制的总变形量为70-80％。
8.根据权利要求1-7任一项所述的制备方法，其特征在于，所述再次退火的保温时间为90-150min；
优选地，在所述再次退火之后进行水冷，得到所述高纯钒靶坯。
9.根据权利要求1-8任一项所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：
(1)将钒的质量百分比为99-99.99％的钒铸锭依据目标尺寸，采用卧式锯床进行切割处理，先在450-500℃下预热，再进行锻造，并控制所述锻造的总变形率为70-80％；
(2)将步骤(1)锻造得到的钒铸锭进行退火处理，所述退火的温度为400-500℃，保温时间为60-120min，然后采用空冷进行冷却；
(3)将步骤(2)退火得到的钒铸锭进行轧制，并控制每道次的下压量0.5-1mm，控制总变形量为70-80％，直至得到具有目标直径和目标厚度的钒靶坯；
(4)将步骤(3)轧制得到的钒靶坯进行再次退火处理，所述再次退火的温度为450-550℃，保温时间为90-150min，在所述再次退火之后进行水冷，得到所述高纯钒靶坯。
10.一种高纯钒靶材，其特征在于，所述高纯钒靶材为将权利要求1-9任一项所述的制备方法制备得到的高纯钒靶坯和背板进行焊接而得到；
优选地，所述背板包括铝合金背板和/或铜合金背板。
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