[发明专利]一种应用于异质结太阳能电池的拼接组装载板在审
申请号: | 202011581555.1 | 申请日: | 2020-12-28 |
公开(公告)号: | CN112768386A | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 冯乐;白焱辉;王继磊;黄金;鲍少娟;杨骥;任法渊;杨文亮;杜凯;师海峰 | 申请(专利权)人: | 晋能光伏技术有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 肖莎 |
地址: | 030600 山西省晋中市山西综改*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应用于 异质结 太阳能电池 拼接 组装 | ||
本发明公开了一种应用于异质结太阳能电池的拼接组装载板,包括:碳纤维基础载板和石墨拼接载板;所述碳纤维基础载板的中部设置限位结构;所述石墨拼接载板的顶部设置硅片承托单元,安装在所述碳纤维基础载板的中部的所述限位结构上;将石墨载板优异导热性与碳纤维载板(CFC)硬度大优点相结合,通过拼接组装后得到了石墨‑碳纤维载板,有效的规避整块石墨载板经济性差、碳纤维导热性差等问题;通过组装拼接组成,具有可操作性强,结构稳定、易搬运的特性。
技术领域
本发明涉及太阳能电池领域,更具体的说是涉及一种应用于异质结太阳能电池在PECVD镀非晶硅薄膜工艺的拼接组装载板。
背景技术
异质结太阳能电池,具有晶硅电池和薄膜电池的双重优势,结构简单、温度特性优异、双面发电,尤其是p型硅片向n型硅片的转变,使得n型异质结太阳能电池成为了高转换效率、降本潜力巨大的热点方向。
n型异质结太阳能电池,是以n型单晶硅片为衬底,经制绒清洗形成金字塔绒面结构,使用PECVD在清洗后硅片正背面依次沉积很薄的本征非晶硅、n型掺杂非晶硅薄膜和本征非晶硅、p型掺杂非晶硅薄膜,分别形成前表面场和p-n 异质结核心结构;然后分别在掺杂非晶硅薄膜两侧沉积100nm左右透明导电氧化物(TCO)薄膜,最后通过丝网在两侧顶层印刷导电银浆,形成金属接触,这样最终形成了对称结构的异质结太阳能电池。
PECVD是异质结太阳能电池制备中最关键的一环,使用PECVD沉积本征非晶硅、掺杂非晶硅薄膜相对较薄(1nm-20nm),异质结电池本身对膜厚的均匀性相对更加敏感,所以需要控制工艺生产水平。其中异质结太阳能电池载板是硅片本身的承托器,与硅片直接接触。通过将硅片装载到载板上,方便运输到各个工艺腔体中,通过控制工艺参数等来沉积非晶硅膜层。载板可以起到对硅片的保护作用,保证其表面清洁,同时不同材质载板物理属性差异性明显,如材质导热性、材质接触性对硅片影响等。
传统的异质结太阳能电池载板以金属、玻璃或石墨为材质,对载板的选材和结构尺寸没有严格要求,但是由于材料自身特性和成本问题,导致载板的导热性、硬度以及成本问题难以兼顾,不能满足行业的需求。
因此,如何提供一种兼具导热性、硬度且性价比高的组装载板是本领域技术人员亟需解决的问题。
发明内容
本发明至少在一定程度上解决现有技术中的上述技术问题之一。
有鉴于此,本发明旨在提供一种应用于异质结太阳能电池的拼接组装载板,将石墨载板优异导热性与碳纤维载板(CFC)硬度大优点相结合,通过拼接组装后得到了石墨-碳纤维载板,有效的规避整块石墨载板经济性差、碳纤维导热性差等问题;通过组装拼接组成,具有可操作性强,结构稳定、易搬运的特性。
为了实现上述目的,本发明采用如下技术方案:
一种应用于异质结太阳能电池的拼接组装载板,包括:碳纤维基础载板和石墨拼接载板;
所述碳纤维基础载板的中部设置限位结构;
所述石墨拼接载板的顶部设置硅片承托单元,安装在所述碳纤维基础载板的中部的所述限位结构上。
经由上述的技术方案可知,与现有技术相比,本发明公开提供了一种应用于异质结太阳能电池的拼接组装载板,通过在石墨拼接载板的外侧拼接碳纤维基础载板,在保证其良好的导热性的前提下,加强了组装拼接板的硬度,结构更为稳定,经济性更高,且通过组装的形式,更方便搬运,灵活性得到加强,具有更强的实用性。
优选的,在上述的一种应用于异质结太阳能电池的拼接组装载板中,所述碳纤维基础载板为环状板,其内侧边缘开有环状槽,沿所述环状槽的底部均匀开设有定位孔;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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