[发明专利]一种N型TopCOn太阳能电池的背面金属电极及制备方法和电池

权利要求书

1.一种N型TopCOn太阳能电池，其特征在于，所述N型TopCOn太阳能电池采用如下方法制备的背面金属电极：

(1)在基底的背面由LPCVD的方式沉积SiOx/Poly-Si膜层，并在Poly-Si膜层上通过P扩散形成N⁺掺杂层，再以LPCVD的方式沉积背面SiNxHy膜层；

(2)用银浆在背面SiNxHy膜层上印刷形成若干根相互垂直的第一银细栅和第一银主栅；

(3)用铝浆在第一银细栅上叠加印刷形成第二铝细栅，并在第一银主栅的各段间和各段的周围印刷形成第二铝主栅；

所述第一银细栅的根数为106～122，宽度为25～40um，高度为5～10um；

第一银主栅的根数为5～12，每根主栅内的段数为4～12，每段长度为2～8mm，宽度为0.1～2mm，高度为4～8um；

第二铝细栅的根数为106～122，宽度为35～45um，高度为10～20um；

第二铝主栅的根数为5～12根，宽度为0.3～3.0mm，高度10～30um；

背面SiOx膜层厚度为1～8nm，Poly-Si膜层厚为100～200nm，背面SiNxHy膜层厚度50～100nm。

2.根据权利要求1所述的N型TopCOn太阳能电池，其特征在于，基底的正面包括通过B扩散形成的P⁺层、由ALD或PECVD的方式沉积的AlOx膜层和PECVD的方式沉积的正面SiNxHy膜层组成的正面减反膜、在正面减反膜上印刷形成的金属栅线电极；

AlOx膜层厚为2～15nm，正面SiNxHy膜层厚为50～100nm。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池，其特征在于，金属栅线电极由银/铝浆印刷烧结形成。