[发明专利]超滑滑块的制备方法有效
申请号: | 202011582589.2 | 申请日: | 2020-12-28 |
公开(公告)号: | CN112661103B | 公开(公告)日: | 2023-05-12 |
发明(设计)人: | 柏帆;胡恒谦;李闯;郑泉水 | 申请(专利权)人: | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
主分类号: | B81B5/00 | 分类号: | B81B5/00;B81C1/00 |
代理公司: | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人: | 满群 |
地址: | 518057 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超滑滑块 制备 方法 | ||
1.超滑滑块的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1,从超滑岛的侧边推动所述超滑岛,使得所述超滑岛分离为第一部分和第二部分,且所述第一部分和所述第二部分未完全分离,所述第一部分的推出距离为所述超滑岛的边长的1/10至1/2,使得所述第一部分和所述第二部分交错且未完全分离;
步骤2,侧边的推力撤回后,所述第一部分和所述第二部分自动回位,若所述第一部分和所述第二部分未自动回位,则更换超滑岛并重复所述步骤1和所述步骤2;若所述第一部分和所述第二部分自动回位,则继续步骤3;
步骤3,从所述超滑岛的顶部垂直于顶面的方向倾斜施加推力,继续推动所述超滑岛,使得所述第一部分和所述第二部分完全分离,分离后的所述第一部分或所述第二部分为超滑滑块。
2.如权利要求1所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:在所述步骤1中,从所述超滑岛侧面的长度方向的1/3至2/3处,高度方向的1/4至4/5处推动所述超滑岛。
3.如权利要求1所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:在所述步骤1中,朝向所述超滑岛施加的推力范围为5至50μN。
4.如权利要求1所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:在所述步骤3中,从所述超滑岛的顶面的长度方向的1/2处,宽度方向的1/4至3/4处推动所述超滑岛。
5.如权利要求1所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:在所述步骤3中,朝向所述超滑岛施加的推力范围为30至300μN。
6.如权利要求1至5任一项所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:在所述步骤1前还设有加热步骤,将所述超滑岛置于氮气气氛下加热,并逐渐冷却至室温。
7.如权利要求6所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:所述超滑岛的加热温度为100至300摄氏度,加热时间为5分钟以上。
8.如权利要求1至5任一项所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:在所述步骤1和所述步骤3中,均采用探针推动所述超滑岛。
9.如权利要求8所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:所述探针是钨探针。
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