[发明专利]周期双向脉冲控制单晶炉软轴提拉系统无序摆动方法有效

专利信息
申请号: 202011584097.7 申请日: 2020-12-28
公开(公告)号: CN112760705B 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 任海鹏;周子璇;李洁 申请(专利权)人: 西安理工大学
主分类号: C30B15/22 分类号: C30B15/22;C30B29/06
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 戴媛
地址: 710048 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 周期 双向 脉冲 控制 单晶炉软轴提拉 系统 无序 摆动 方法
【权利要求书】:

1.一种周期双向脉冲控制单晶炉软轴提拉系统无序摆动方法,其特征在于,按照以下步骤具体实施:

步骤1、构建晶体生长软轴提拉系统的动力学模型,

根据软轴提拉系统的工作原理,将引晶阶段的系统化简为一个旋转摆,假设系统满足如下条件:1)相对于晶体转动,晶体提拉速度很慢,尤其是引晶阶段软轴提拉的速度非常缓慢,假设软轴的长度l不变;2)忽略软轴的质量,将籽晶和籽晶夹头简化为一个质量为m的质点;3)软轴提拉系统受到的外部扰动由本系统偏心造成,偏心距为r,该扰动的频率与本系统工作的旋转速度一致;

基于软轴提拉系统的工作原理和假设,得到软轴提拉系统无量纲的数学模型如式(1)所示:

其中,t是时间变量,x1和x2是软轴提拉系统的状态变量,x1是软轴相对于旋转中心垂线的摆动角度θ,x2是摆动角度的变化速度;Ω是晶体转动的无量纲转速,无量纲化外部扰动幅值和软轴提拉系统阻尼分别为A和c,这三个量为软轴提拉系统的参数;

步骤2、设置针对软轴提拉系统的周期双向脉冲控制器,

设计一个周期双向脉冲控制器,在一个旋转周期内等时间间隔对转速施加一个负脉冲和一个正脉冲,正负脉冲交替应用,使得软轴提拉系统的平均转速不变;

周期双向脉冲控制器由式(2)和式(3)所示的方程式表示:

其中,双脉冲控制的周期表示为T=2π/Ω,与晶体转动周期一致,由公式(3)可知,负脉冲在周期开始时施加,正脉冲在周期一半时施加,正负脉冲的持续时间都是Δ,正负脉冲幅值相同都是κ,n是表示第n个周期,

定义P(t)=Ω+F(t)为被控后的转速,并定义正的脉冲幅值为增加转速,负的脉冲幅值为降低转速,基于周期双向脉冲控制的软轴提拉系统,被控的软轴提拉系统的方程式转化为式(4):

P(t)=Ω+F(t); (4)

步骤3、利用BF算法确定周期双向脉冲控制器的控制参数的选择范围,具体过程是:

3.1)设置未受控的软轴提拉系统处于无序摆动状态下的参数;

3.2)遍历式(3)中周期双向脉冲控制器的参数空间(Δ,κ),通过3-4阶龙格库塔法进行式(4)的数值仿真,得到软轴提拉系统的状态轨迹,对该状态轨迹按照T=2π/Ω间隔进行采样,记录采样点的状态(x1,x2),该状态点即为软轴提拉系统轨迹在庞加莱截面穿越的点,根据在庞加莱截面上不同穿越点数判断软轴提拉系统运动状态,如果轨迹都在一个点穿越则对应式(4)的周期一运动状态,如果在两个点穿越则对应式(4)处于周期二状态,以此类推,得到由非周期一状态变为周期一状态的参数对;

3.2.1)设置控制参数值Δ和κ遍历区间,取遍历区域起点参数,并记录此时软轴提拉系统轨迹在庞加莱截面上穿越的点数,记为P_last;

3.2.2)按顺序采用下一组参数,计算此控制参数下软轴提拉系统轨迹在庞加莱截面上穿越的点数,记为P_present;

3.2.3)如果P_present==1并且P_last1,记录当前的控制参数值Δ和κ;令P_last=P_present,判断是否遍历完成所有参数,如遍历完成转步骤3.2.4);否则,转步骤3.2.2);

3.2.4)将步骤3.2.3)中记录的所有(Δ,κ)对,绘制到以κ为横坐标、Δ为纵坐标的平面上,得到控制参数边界曲线。

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